昭和电工8 英寸SiC外延片样品开始出货

昭和电工是第一家开始出货用于 SiC（碳化硅）功率半导体的 200 mm（8 英寸）尺寸 SiC 外延片样品的日本制造商。该产品使用了该公司的SiC 单晶基板（SiC 晶片）。

图 SiC 外延片

与使用硅晶片的传统功率半导体相比，SiC功率半导体产生的功率损耗和热量更少，作为有助于节能的器件，在电动汽车和可再生能源方面的市场正在迅速扩大。与SiC功率半导体性能密切相关的SiC外延片要求缺陷少、质量稳定。 目前，碳化硅功率半导体主要使用150毫米（6英寸）碳化硅外延片生产。随着 SiC 外延片直径的增加，单片晶圆可以获得更多的芯片，有望为器件制造商提高生产率并降低成本。

在这些市场需求的背景下，昭和电工将从2021年开始全面开发200mm晶圆，并开始使用的200mm SiC晶片进行SiC外延片的样品出货。昭和电工已经在 SiC 外延片领域拥有世界第一的市场份额。这次，除了从合作公司采购SiC晶片外，昭和电工还将致力于使用自己的晶片进行产品开发，旨在扩大200mm SiC外延片的生产，建立稳定的供应体系，进一步提高质量。

此外，昭和电工将以到2030年将SiC外延片及其原材料SiC晶片尺寸减小到200mm，缺陷密度降低一位数以上为目标，进行下一代绿色功率半导体的碳化硅晶片技术开发。