汕大工学院王双喜教授课题组在面向5G的集成电路用高纯陶瓷基板研究领域取得新进展

      近日，汕头大学工学院研究生黎达在中科院1区SCI期刊《Applied Surface Science》上以“Surface modification of alumina nanoparticles and its application in tape casting of micro-nano green tape”（https://doi.org/10.1016/j.apsusc.2023.15696）为题报道了相关研究成果。通过接枝改性纳米氧化铝粉体，流延浆料中纳米粉体的含量提升至陶瓷相的45vol%，在99.6%高纯陶瓷基板制备的卡脖子领域实现技术突破。

      高纯陶瓷基板是5G技术下大功率集成电路、新能源IGBT、三代半导体、卫星等领域的关键器件。纳米粉体可以显著降低陶瓷材料的烧结温度，用于流延陶瓷基板，可以有效控制基板显微组织和电学性能。但由于纳米颗粒具有较大的比表面积以及高表面活性，纳米粉体容易聚团，导致浆料流动性急剧下降，制约了纳米粉体在流延成型技术中的大量应用。改性氧化铝纳米颗粒技术使得流延陶瓷浆料稳定性大幅提高，静置12天后浆料的沉降率仅为4%，浆料中纳米粉体的含量提升至陶瓷相的45vol%，制备的流延陶瓷生坯表面光滑无缺陷。黎达同学作为第一发明人刚刚获得相关发明专利授权。

      近年来，王双喜教授课题组已经研发出陶瓷生带、超薄高纯陶瓷片、复合陶瓷基板、导热电磁屏蔽基板、燃料电池薄膜等一系列技术成果，具有纳米粉体改性——高纯浆料配方——流延生带制备——陶瓷基板烧结—基板表面处理的全套自主技术和知识产权，已经授权发明专利17件、实用新型3件，发表学术论文12篇。

  “Surface modification of alumina nanoparticles and its application in tape casting of micro-nano green tape”论文第一作者黎达为汕头大学工学院研究生，通讯作者为王双喜教授。该工作得到广东省教育厅创新强校基金重点领域专项基金和广东省高校科技成果转化基金的资助。