TEL 发布面向制造8.7世代平板显示器的等离子刻蚀腔室PICP™ EX Plus和APX

摘要
Tokyo Electron(TEL)宣布推出等离子刻蚀设备Betelex™2700 PICP™ EX Plus,该设备搭载面向高分辨率工艺的新型PICP™ EX Plus腔室,可处理8.7世代*1 玻璃基板。此外,TEL也同时推出了解决腐蚀问题的APX腔室。

使用8.7世代玻璃基板的显示器,主要用在采用OLED面板的IT产品。生产具备高分辨率和高附加值的大尺寸显示器,需要采用比以往更高均一性和选择性的蚀刻技术,同时也需要严格加强生产管理,采取有效的腐蚀抑制和颗粒控制。
 
在当前市场需求的推动下,TEL推出的PICP EX Plus 等离子工艺腔室,搭载了TEL独创的PICP高密度等离子源,实现高蚀刻性能的同时,在气体扩散控制和温控等性能上也得到进一步强化。该腔室支持更多种器件结构,在提高生产稳定性和良率、降低运行成本方面具有显著优势。
 
此外,全新开发的APX工艺腔室,采用TEL独创的防腐蚀方法,可有效抑制腐蚀,帮助客户进一步提升良率、降低成本和环境负担。
 

TEL 发布面向制造8.7世代平板显示器的等离子刻蚀腔室PICP™ EX Plus和APX

 
PICP和Betelex是Tokyo Electron集团在日本和/或其他国家的注册商标或商标。
*1 8.7世代:2290 mm × 2620 mm基板尺寸
 
 

演讲预告
 

嘉宾 Mikinao Kobayashi
时间 8月28日14:30-14:50
地点 上海浦东嘉里大酒店
3楼 上海大宴会厅
会议 中国(上海)国际显示产业高峰论坛
演讲主题 IT OLED工艺技术的最新趋势和解决方案

 

 

近年来,以OLED为首的显示产品,在显示和性能上都实现了翻天覆地的升级,我们预计未来趋势不变。本演讲将围绕IT OLED这一前沿显示技术,介绍未来的技术趋势和挑战,以及我们的解决方案。Tokyo Electron(TEL)致力于通过技术创新实现美好未来,为不断发展的中国平板显示产业做出贡献。

 

TEL 发布面向制造8.7世代平板显示器的等离子刻蚀腔室PICP™ EX Plus和APX

作为一家先进半导体制造设备生产商,

提供多样技术和独创方案,

一如既往持续贡献社会。

 

 
TEL 发布面向制造8.7世代平板显示器的等离子刻蚀腔室PICP™ EX Plus和APX

原文始发于微信公众号(TOKYO ELECTRON):TEL 发布面向制造8.7世代平板显示器的等离子刻蚀腔室PICP™ EX Plus和APX

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作者 gan, lanjie