08月23日-08月25日,作为中国电子产业领域的重要盛事之一的2023年深圳国际电子展览会(ELEXCON)开幕,南砂晶圆应邀参加本次展会,并携公司新产品——8英寸导电型碳化硅衬底亮相。
杨祥龙博士在深圳国际第三代半导体与应用论坛做题为《八英寸SiC单晶的研究进展》报告。在报告中,杨博士提到南砂晶圆在8英寸SiC衬底位错缺陷控制方面取得了重大突破,使用物理气相传输法实现了近“零螺位错”密度和低基平面位错密度的8英寸导电型4H-SiC单晶衬底制备,其中螺位错密度为0.55 cm-2,基平面位错密度为202 cm-2。8英寸SiC衬底位错缺陷的有效控制,有助于加快国产8英寸导电型衬底的产业化进程,提升市场竞争力。
原文始发于微信公众号(广州南砂晶圆半导体技术有限公司):南砂晶圆亮相2023深圳国际电子展览会
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