今日,通用智能装备有限公司SiC晶锭8寸剥离产线正式交付客户!
近年,碳化硅(SiC)功率器件在大功率半导体市场中的份额不断增加,并被用于一系列应用,如新能源车辆和城市轨道交通,风力发电,高速移动通讯,loT等。
碳化硅由于其高硬度,高脆性特点,在SiC 器件制造领域存在一个瓶颈:晶锭分割工艺过程。目前,SiC晶锭主要通过砂浆线/金刚石线切割,效率低和损耗高。通用智能采用激光隐切技术完成SiC晶锭分割工艺过程,并成功实现8寸碳化硅晶锭剥离设备的量产✊✊✊
原文始发于微信公众号(通用智能):国内第一家sic晶锭8寸线剥离量产设备交付客户
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