无锡高新区官博报道,12月24日,华虹制造(无锡)项目主厂房钢屋架吊装仪式在无锡高新区举行。
华虹无锡集成电路研发和制造基地项目,总投资100亿美元,是华虹集团走出上海、布局全国的第一个制造业项目。项目经过两轮扩产,年内即将实现月产9.45万片总目标,树立了长三角一体化发展的合作典范。
2017年8月,华虹无锡一期项目落户无锡高新区。2019年9月17日,华虹无锡集成电路研发和制造基地一期12英寸生产线正式建成投产。一期项目 (华虹七厂)投资25亿美元,建成投片的一条工艺等级90 ~ 65/55纳米、月产能4万片的12英寸特色工艺集成电路生产线。首批12英寸硅片进入工艺机台开始55纳米芯片产品制造,标志着项目将由工程建设期正式迈入生产运营期。
来源:无锡博报
该项目工艺技术平台覆盖移动通信、物联网、智能家居、人工智能、新能源汽车等新兴应用领域,对接无锡市信息产业的良好基础,将进一步满足业界对中高端芯片产品需求。
今年6月8日,华虹集团决定由华虹宏力在无锡高新区启动实施华虹无锡集成电路研发和制造基地二期项目,投资67亿美元,新建一条产能8.3万片的12英寸特色工艺集成电路芯片生产线。6月30日,华虹无锡二期项目正式开工。
预计一期、二期项目全部达产后月产能将达18万片,华虹无锡项目将成为国内技术最先进、生产规模最大的12英寸特色工艺研发和制造基地。
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会议议题
序号 |
暂定议题 |
拟邀请企业 |
1 |
8英寸碳化硅衬底产业化进展 |
拟邀请碳化硅衬底企业/高校研究所 |
2 |
大尺寸碳化硅单晶生长技术痛点解析 |
拟邀请碳化硅单晶制备企业/高校研究所 |
3 |
新一代切片机“破局”8英寸碳化硅 |
拟邀请切割设备企业/高校研究所 |
4 |
激光技术在碳化硅切割及划片上的应用 |
拟邀请激光企业/高校研究所 |
5 |
液相法制备碳化硅技术 |
拟邀请碳化硅企业/高校研究所 |
6 |
国产MBE设备应用及发展情况 |
拟邀请碳化硅外延企业/高校研究所 |
7 |
SiC MOS器件结构设计解决方案 |
拟邀请碳化硅器件企业/高校研究所 |
8 |
车用碳化硅加工工艺与要点研究 |
拟邀请碳化硅加工企业/高校研究所 |
9 |
利用碳化钽的碳化硅单晶生长技术 |
拟邀请碳化硅企业/高校研究所 |
10 |
碳化硅衬底研磨抛光工艺及耗材技术 |
拟邀请研磨抛光设备企业/高校研究所 |
11 |
适用于8英寸碳化硅的先进切割工艺 |
拟邀请切割设备企业/高校研究所 |
12 |
化学机械抛光在碳化硅上的反应机理 |
拟邀请抛光设备企业/高校研究所 |
13 |
碳化硅衬底及外延缺陷检测技术 |
拟邀请检测设备企业/高校研究所 |
14 |
8英寸碳化硅外延材料生长核心工艺与关键装备 |
拟邀请碳化硅外延企业/高校研究所 |
15 |
外延掺杂技术的优化与改进 |
拟邀请碳化硅外延企业/高校研究所 |
16 |
8英寸碳化硅的氧化工艺技术 |
拟邀请碳化硅企业/高校研究所 |
17 |
碳化硅离子注入设备技术 |
拟邀请离子注入企业/高校研究所 |
18 |
高纯度碳化硅粉末制备碳化硅晶体 |
拟邀请激光企业/高校研究所 |
19 |
碳化硅先进清洗技术 |
拟邀请清洗设备企业/高校研究所 |
20 |
碳化硅关键装备的现状及国产化思考 |
拟邀请碳化硅设备企业/高校研究所 |
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拟邀企业
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高纯碳粉、硅粉、碳化硅粉末、坩埚、籽晶等材料企业;
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晶锭、衬底、外延、晶圆等产品企业;
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碳化硅晶体、外延生长等设备企业;
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金刚石线切割、砂浆线切割、激光切割等切割设备企业;
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碳化硅磨削、研磨、抛光和清洗及耗材等企业;
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检测、退火、减薄、沉积、离子注入等其他设备企业;
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高校、科研院所、行业机构等;
03
报名方式
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付款时间 |
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原文始发于微信公众号(艾邦半导体网):华虹无锡集成电路项目:打造国内最先进的12英寸特色工艺基地
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