△甬江实验室 热场材料创新中心
“尖兵”、“领雁”研发攻关计划是面向世界科技前沿、面向经济主战场、面向国家和浙江重大需求、面向人民生命健康，开展重点技术领域的前沿科学问题研究、重大关键核心技术攻关、重大社会公益性研究、重大国际科技合作等研究活动的科技计划。超高纯、耐高温、耐腐蚀陶瓷涂层材料在半导体、新能源、极端环境等领域有着重要应用。
碳化硅半导体产业链很长，为了促进行业交流和发展，艾邦新建碳化硅功率半导体产业链微信群，欢迎碳化硅前道材料与加工设备，后道器件生产和模块封装的行业朋友一起加入讨论。
01
会议议题
|
序号 |
暂定议题 |
拟邀请企业 |
|
1 |
8英寸碳化硅衬底产业化进展 |
拟邀请碳化硅衬底企业/高校研究所 |
|
2 |
大尺寸碳化硅单晶生长技术痛点解析 |
拟邀请碳化硅单晶制备企业/高校研究所 |
|
3 |
新一代切片机“破局”8英寸碳化硅 |
拟邀请切割设备企业/高校研究所 |
|
4 |
激光技术在碳化硅切割及划片上的应用 |
拟邀请激光企业/高校研究所 |
|
5 |
液相法制备碳化硅技术 |
拟邀请碳化硅企业/高校研究所 |
|
6 |
国产MBE设备应用及发展情况 |
拟邀请碳化硅外延企业/高校研究所 |
|
7 |
SiC MOS器件结构设计解决方案 |
拟邀请碳化硅器件企业/高校研究所 |
|
8 |
车用碳化硅加工工艺与要点研究 |
拟邀请碳化硅加工企业/高校研究所 |
|
9 |
利用碳化钽的碳化硅单晶生长技术 |
拟邀请碳化硅企业/高校研究所 |
|
10 |
碳化硅衬底研磨抛光工艺及耗材技术 |
拟邀请研磨抛光设备企业/高校研究所 |
|
11 |
适用于8英寸碳化硅的先进切割工艺 |
拟邀请切割设备企业/高校研究所 |
|
12 |
化学机械抛光在碳化硅上的反应机理 |
拟邀请抛光设备企业/高校研究所 |
|
13 |
碳化硅衬底及外延缺陷检测技术 |
拟邀请检测设备企业/高校研究所 |
|
14 |
8英寸碳化硅外延材料生长核心工艺与关键装备 |
拟邀请碳化硅外延企业/高校研究所 |
|
15 |
外延掺杂技术的优化与改进 |
拟邀请碳化硅外延企业/高校研究所 |
|
16 |
8英寸碳化硅的氧化工艺技术 |
拟邀请碳化硅企业/高校研究所 |
|
17 |
碳化硅离子注入设备技术 |
拟邀请离子注入企业/高校研究所 |
|
18 |
高纯度碳化硅粉末制备碳化硅晶体 |
拟邀请激光企业/高校研究所 |
|
19 |
碳化硅先进清洗技术 |
拟邀请清洗设备企业/高校研究所 |
|
20 |
碳化硅关键装备的现状及国产化思考 |
拟邀请碳化硅设备企业/高校研究所 |
更多相关议题征集中，演讲及赞助请联系张小姐：13418617872 （同微信）
02
拟邀企业
-
高纯碳粉、硅粉、碳化硅粉末、坩埚、籽晶等材料企业； -
晶锭、衬底、外延、晶圆等产品企业；
-
碳化硅晶体、外延生长等设备企业；
-
金刚石线切割、砂浆线切割、激光切割等切割设备企业；
-
碳化硅磨削、研磨、抛光和清洗及耗材等企业；
-
检测、退火、减薄、沉积、离子注入等其他设备企业；
-
高校、科研院所、行业机构等；
03
报名方式
方式1：请加微信并发名片报名
https://www.aibang360.com/m/100182?ref=172672
04
收费标准
|
付款时间 |
1~2个人(单价每人) |
3个人及以上(单价） |
|
4月30日前 |
2600/人 |
2500/人 |
|
6月2日前 |
2700/人 |
2600/人 |
|
7月2日前 |
2800/人 |
2700/人 |
|
现场付款 |
3000/人 |
2800/人 |
★费用包括会议门票、全套会议资料、午餐、茶歇等，但不包括住宿。
05
赞助方案
原文始发于微信公众号（艾邦半导体网）：突破垄断，六方半导体SiC涂层技术实现国产替代
一颗芯片的制造工艺非常复杂，需经过几千道工序，加工的每个阶段都面临难点。欢迎加入艾邦半导体产业微信群：
长按识别二维码关注公众号，点击下方菜单栏左侧“微信群”，申请加入群聊