4月28日,美埃集团旗下南京美赫半导体设备有限公司,首台SP2晶圆检测设备入厂开机仪式,这也是美赫继SP1后首台SP2晶圆检测设备入驻美赫自主建设的洁净室内。
消杀人员有条不紊地对装运货车、设备箱体进行全面的消菌杀毒,以保证接触人员安全性。
SP2晶圆检测设备位于恒温恒湿ISO Class5(100)洁净室,百级区需吊顶满布FFU风机净化单元,室内采用高精度传感器多点对温湿度和洁净度进行实时监控,并自动进行修正调节,形成闭环控制,以保证SP2晶圆检测设备运行环境的温度(精度为22±1℃)和湿度(45%±5%)要求。
出席现场设备揭幕仪式的有美埃(中国)环境科技股份有限公司副总经理-陈玲女士 、美埃(南京)环境系统有限公司总经理-史克志先生等领导代表,并发表揭幕致辞。
陈玲提到:美赫在半导体行业、洁净行业及整个解决方案的业务上前进了一大步,期待以后能够借助自己的研发、生产制造及服务实力为中国半导体产业腾飞贡献一份力量。
史克志发表致辞:前路漫漫,未来可期。愿美赫稳步发展,坚持创新,助力中国半导体行业可持续发展。
南京美赫首台晶圆检测设备SP2揭幕仪式在领导的勉励支持下圆满成功,本次有幸见证美赫的高质量发展。成立至今,美赫始终遵守“客户至上”,重视研发技术与制造能力,脚踏实地,以助力中国半导体事业为己任,创造自身的社会价值。
原文始发于微信公众号(美埃中国):喜讯 | 美赫首台SP2晶圆检测设备揭幕仪式圆满举行
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