涨知识了丨半导体材料3_陶瓷配件_石英

在半导体材料第一期碳化硅SiC产品介绍中，SKC CEO朴元哲曾提及“半导体材料：以SKC solmics为中心带动进行。以往把事业重点放在此前完全依赖从日本进口的基础材料替代品上，那么现在则是将能够彻底改变整个半导体产业链的材料作为新事业。”

SKC solmics正向着单晶硅(Si)、氧化铝(Al₂O₃)、碳化硅(SiC)、石英(Quartz)等半导体工艺用精细陶瓷新材料的开发、生产和加工业务迈进，为材料韩国国产化做出了巨大贡献。目前，SKC solmics以优秀的研究人力和开发设备为基础，扩大大型陶瓷和高性能陶瓷材料技术的开发。今天我们聊一下陶瓷配件——石英(Quartz)。

石英 Quartz

概述：石英(Quartz)的气体含量少，且不含有产生电导性能的碱成分，是极好的不导体。高纯石英玻璃纤维的光吸收少，且有很好的透光性，是光纤的重要材料，在半导体产业主要用于DryEtch和Diffusion工艺，并利用耐热、耐冲击、耐药性等特性也广泛应用于实验器具和通讯器材等产业。

Quartz_Parts

材料特性

◾ 拥有超高纯度特性

◾ 气体含量极少

◾ 优越的绝缘性能

主要产品

产品	用途
Focus Ring	集中Chamber内的蚀刻工艺中的Plasma作用
Boat	半导体扩散CVD工艺中，用于移动景园的晶舟
Tube	半导体扩散CVD工艺中，保护晶舟用的套管
Cap	支撑石英舟的产品，用于防止热损失的保温作用
其他	Wide Pocket, Shadow Ring, Base Plate, Lifter Pin, Shield Ring...etc.

主要产品物性表

Purity(%)纯度	99.99
Bulk Density(g/cm³)密度	>2.15
Load0.5Kg HV1=9.807N Vickers Hardness(GPa)维氏硬度	8.6
Bending Strength(MPa)弯曲强度	70
Compressive Strength(MPa)抗压强度	1100
Poissons Ratio泊松比	0.17
Thermal Conductivity(W/mK)热导	1.5
Thermal Expansion(x10-6/°C)热膨胀系数	4.3
Specific Heat([RT]J/kg.K)比热	0.2
Volume Resistivity(Ω. ㎝)电阻	>10¹⁴
Dielectric Constant(25°C 1MHz)介电常数	3.75

以上是石英Quartz的简单介绍，给大家参考了解。

SKC solmics

SKC半导体材料专门子公司SKC solmics，作为韩国精密陶瓷行业的领导者，通过开发氧化铝(Al₂O₃)、碳化硅(SiC)等材料的生产技术以及单晶硅(Si)生长技术，实现了“材料-加工-成品”为一体的精密陶瓷生产体系。SKC solmics将努力突破现有通用材料技术，研发可提高材料性能的尖端技术，并生产超出客户预期的新材料产品。