克洛诺斯鲲鹏高端装备研究院揭牌

8月16日，深圳市克洛诺斯科技有限公司举行鲲鹏高端装备研究院揭牌仪式，克洛诺斯杨光董事长、广东工业大学研究生学院常务副院长吴福根教授共同为研究院揭牌，宣告鲲鹏高端装备研究院正式成立。揭牌仪式由克洛诺斯李智副总经理主持，广东工业大学智慧能源研究中心刘建平主任、材料与能源学院王长宏教授等相关专家出席了仪式。

克洛诺斯杨光董事长致辞

克洛诺斯杨光董事长在致辞中表示，克洛诺斯始终致力于整合国内外资源，打造世界一流的高端精密装备。广东工业大学吴福根教授作为新型半导体激光器的性能和应用研究方面的权威专家，在国内国际具有极大的影响力和号召力，此次出任鲲鹏高端装备研究院执行院长，相信在吴院长的引领下，克洛诺斯在半导体高端装备领域将取得突破性成就，加快助力鲲鹏高端装备研究院成为国内、国际一流的半导体精密平台技术研发基地。

克洛诺斯杨光董事长授予吴福根教授

鲲鹏高端装备研究院执行院长聘任证书

仪式现场，杨光董事长为吴福根教授颁发聘任证书，正式聘任吴福根教授为鲲鹏高端装备研究院执行院长。

鲲鹏高端装备研究院吴院长讲话

吴院长在发言中表示：克洛诺斯的稳健发展和日益凸显的行业影响力，对于构建国内半导体核心设备零部件产业格局起到了重要作用。鲲鹏高端装备研究院一定能共同促进国内半导体高端装备的研发和创新，为国内半导体事业建设做出贡献。

鲲鹏高端装备研究院将主要在半导体精密制造设备等技术和产品领域不断进行升级，为未来发展提供技术保障。克洛诺斯始终坚持以技术研发为主导，努力追赶国际先进水平。其中，克洛诺斯纳米级精密平台重复定位精度达±5nm，由压力-真空空气轴承和超高精密编码器设计，最大可应对300nm晶圆。编码器位置靠近基板表面，减少已经最小的偏移影响，移动模块和十字导轨采用陶瓷（Al₂O₃）设计，比花岗岩或金属设计刚性好、重量轻，热膨胀系数低，并且应用了激光干涉仪反馈系统。

鲲鹏高端装备研究院将利用好校企合作资源，依托广东工业大学机电学院国家重点实验室的学科优势，开展精密电子制造技术与装备领域的应用基础研究和高端电子制造装备的核心技术攻关与关键零部件技术研发，集合克洛诺斯丰富的行业经验和广工大机电学院国家重点实验室强大的咨询顾问团队，共同开启双方在半导体精密平台领域的前沿探索。