信纮科与Ball Wave共同开发出先进半导体水分质量监控的气体供应系统

近日，日本Ball Wave公司与信纮科技股份有限公司已签署应用于台湾、中国与部分亚太地区半导体产业之Ball Wave微量水气传感器的独家经销合约。

Ball Wave与信纮科已共同开发一款于先进半导体厂，具备水分质量监控的气体供应系统。

概述

微量水气传感器为Ball Wave球体SAW（ball SAW）技术的一项应用。球体SAW是一种在固态球体传递的特殊表面声波（SAW），具备极高的敏感度与卓越的迅速反应时间。Ball Wave的一个微量水气传感器产品系列具备特殊电路与软件，可透过测量球体SAW的特性，侦测各种背景气体内的微量水气数量。

信纮科为一家半导体气体化学供应设备制造商与厂务系统整合工程公司，与BW合作将其微量水气传感器产品整合于气体供应系统，推出IQC系统，该系统可监测气体供应系统中的微量水气含量，以确保制程用的气体质量。

未来双方将从IQC系统拓展至其他更广泛应用，，以确保先进半导体厂使用之气体的水气维持稳定之质量要求。

图1.　球体SAW技术微量水气传感器

微量水气传感器

半导体产业终于能在线监控特殊气体与腐蚀性气体内的微量水气ppb-ppm浓度。对于尖端芯片的稳定生产而言，此为必要功能。

图2.　信纮科产品

名词解释

1. 尖端半导体产业：受到移动电话、笔记本电脑、服务器、汽车、智慧家庭、游戏、穿戴装置与Wi-Fi基地台产品的驱动，半导体市场预计在2021年成长超过17%。
   
2. 半导体产业特殊气体：硅晶圆表面的不同材质薄膜层是透过沉积与蚀刻化学反应进行附加，而每一层都需要不同的反应气体，例如AsH3/H2、Cl2、GeH4/H2与HF。
   
3. 半导体产业微量水气：在半导体制造使用的气体，减少杂质十分重要，尤其是残留水气。
   
4. 球体SAW传感器：这种传感器使用在球体表面传导并持续环绕球体表面且不会朝横向传播的表面声波（SAW）。球体SAW传感器具备Ball Wave的专利智慧财产。