上海万业企业股份有限公司发布公告称，其控股孙公司北京凯世通半导体有限公司于 2022 年 1 月 30 日和重要客户签订 《采购订单》，北京凯世通向其出售多台 12 英寸集成电路设备：（包含低能大束流离子注入机、低能大束流超低温离子注入机），交易总金额约为人民币 6.58亿元。
离子注入是通过对半导体材料表面进行某种元素的掺杂，从而改变其特性的工艺制程，在集成电路（IC）工业中得到广泛的应用。作为离子注入制程的装备—离子注入机，是先进IC生产线上最关键的工具之一，每年全球拥有15-20亿美金的市场规模。
据了解，凯世通是国内半导体离子注入设备龙头企业， 2018年，万业企业成功收购凯世通，正式进入集成电路四大核心装备之一的离子注入机领域。2021年5月，凯世通自主研发的低能大束流离子注入机在国内一家12英寸主流集成电路芯片制造厂已完成设备验证工作并确认销售收入，这也是首台完成国内主流客户验证并确认收入的国产低能大束流设备，标志国产化设备在成熟工艺领域取得重大商用化突破。
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