三星半导体|晶圆的“传送盒”与“搬送车”

在半导体生产制造中

如何安全、高效地搬运晶圆?
掌声有请这对好搭档

“FOUP”和“OHT”

 

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三星半导体|晶圆的“传送盒”与“搬送车”

原文始发于微信公众号(三星半导体和显示官方):三星半导体|晶圆的“传送盒”与“搬送车”

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作者 gan, lanjie