CMP Pad 化学机械抛光垫
CMP Pad 化学机械抛光垫

SKC从半导体CMP流程核心材料CMP Pad的原料(PRE-POLYMER)开始,逐步扩张至CMP Slurry领域,计划成为半导体材料领域的全球领军企业。本期为大家讲一讲用于研磨半导体晶圆表面的材料CMP Pad。

CMP Pad

CMP Pad 化学机械抛光垫

CMP垫(化学机械抛光垫,Chemical Mechanical Polishing Pad)是通过物理、化学反应研磨半导体晶圆表面,使晶圆表面达到平坦化等提高半导体集成度所需的产品。该产品属于消耗性材料。

CMP—化学机械平坦化

CMP Pad 化学机械抛光垫
CMP Pad 化学机械抛光垫

CMP Pad—CMP研磨垫

CMP Pad 化学机械抛光垫
CMP Pad 化学机械抛光垫

CMP Pad 开发概念

CMP Pad 化学机械抛光垫
CMP Pad 化学机械抛光垫

材料性能控制

CMP Pad 化学机械抛光垫
CMP Pad 化学机械抛光垫

接触面物性控制

CMP Pad 化学机械抛光垫
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产品目录

CMP Pad 化学机械抛光垫
CMP Pad 化学机械抛光垫

原文始发于微信公众号(SKC爱思开希):CMP Pad 化学机械抛光垫

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作者 gan, lanjie