作者：树先生

设备维修包含两部分内容：维护与修理。维护是治未病，而修理是指已病。大家都知道重点应该是治未病，但是在实际生产环境中由于复杂性极高，想治疗未病需要更为深厚的积累，更为完善的系统互相配合才能见效。治未病见效慢，而且在短时间内大概率获得的都是负反馈。因此，设备维修和为人看病一样，治已病见效快，容易得到认可。治未病见效慢，开始阶段副作用强。这其实本质上和国家，企业及家庭管理并无本质上的区别。那我们就先从这个"费力不讨好"的维护开始。

设备维护在学术上本身没有太多讨论，可能是学术界没法对这个东西进行深入研究。但是还是有一些报道，现在业界常用的名词有"TPM", "PdM"，"HPM"等。TPM称为全面生产性维护(Total Productive Maintenance)，发起于日本，百度百科上就可以搜到相关知识。TPM核心在于全员参与，工厂从总经理到一线员工都要对设备正常运行负责。每个人都从自己的角度来观察设备，提早发现问题，解决问题，提出预防和改善方案。如果说维护本身就是个慢活，那TPM就更慢。特别是半导体行业的设备越来越复杂，自动化程度越来越高，设备更新换代加速，设备与工艺结合的越来越紧密，TPM的性价比越并不高。所以随着时代的进步，在半导体这个行业需要新的设备维护理念。这就衍生出PdM和HPM，PdM 称为预测性维护（Predicative Maintenance）,HPM 称为高精度保养（High Precision Maintenance）。

我们先聊聊PdM这个词最早是从电力行业的维护出来的一个词汇。近几年随着工厂内4G/5G网络、物联网设备的发展PdM有了更大的发展空间。 PdM-预测性维护其实从某种意义上讲是通过网络及物联网设备更有针对性地将设备的问题暴露出来。这相比TPM而言，就尤其优势，可以一定程度上提高效率，增加噱头从而赢得工厂相关人员的拥戴。那么PdM ​到底怎么实现呢？ 我们可以简单举个例子：比如wafer研磨机台，在其马达完全失效前通常会发生异常抖动。平时的维护保养是很难发现的，特别是维护保养时​大部分时间设备是关机的，这种震动很难被发现。那我们怎么利用PdM来解决这个问题呢？