液空中国西部电子材料中心及供应链中心一期项目近日已通过安全验收,并取得了危险化学品生产许可证及危险化学品经营许可证,正式投产运营

Air Liquide electronics materials and supply chain center in Western China has been put into operations officially.

液空中国西部电子材料中心投产Electronics Materials Center China Meishan started


液空中国西部电子材料中心是液化空气全球第12个电子材料生产中心,也是液化空气在中国的第3个电子材料中心。中心坐落于四川眉山,一期投资1.25亿元,拥有高纯笑气、高纯三氟化硼、高纯磷烷混配气、惰性混配气等多条生产线及配套设施,并具备电子材料分析能力。

笑气

产品纯度高达99.9995%


该中心拥有先进的进口笑气生产设备,可实现投料到产出流程的全面自动化,以及更精准的品质监控。笑气生产装置设计年产能达到2500吨,产品纯度高达99.9995%满足半导体集成电路和新型平板显示工艺等领域高端电子客户的需求。中心还具备生产医用笑气的能力,获得相关认证后,将成为液空中国第一个医用笑气生产工厂。

液空中国西部电子材料中心投产Electronics Materials Center China Meishan started

笑气生产装置

高纯三氟化硼

全自动转充工艺


高纯三氟化硼(用于集成电路掺杂工艺)充装生产线设计年产能1吨,产品纯度可达99.99%。中心拥有液空在华首套三氟化硼转充系统,可提供全自动转充工艺,确保充装的安全、可靠及品质的稳定。

液空中国西部电子材料中心投产Electronics Materials Center China Meishan started
充装车间

高纯磷烷混配气

安全、可靠、便捷的自动充装


高纯磷烷混配气设计年产能达到60,000标立,惰性混配气设计年产能为130,000标立。中心采用了液空自主研发的混配气配比计算软件,可根据客户的产品需求精准计算充装量。混配气充装也采用了全自动操作工艺和可视化界面,可实现安全、可靠、便捷的自动充装。同时,中心还配备了高度自动化的混配气分析系统,专业的分析工程师及技术人员定期对分析系统进行校验和性能测试,确保了分析系统的可靠性。

液空中国西部电子材料中心投产Electronics Materials Center China Meishan started
混配车间

电子材料中心的生产过程全面覆盖了在线数据监测和视频监控系统,能实时监测温度、压力、流量以及阀门状态等生产数据,确保各个环节安全稳定。

此外,中心还建有三个独立的电子材料实验室,拥有先进的气相色谱仪、水分析仪、氧分析仪、混配比分析仪和氮氧化物分析器等一系列高精度分析检测设备,可对多种电子特种气体进行全面分析,检测精度达到PPB*级别分析系统实现了自动化,减少了人为干预,从而确保了检测的准确度

*PPB: Part Per Billion, 十亿分之一

供应链中心

液空中国最大的电子气仓储中心


作为供应链中心,这里建有四个仓库(三个甲类危险化学品、一个乙类危险化学品)和一个甲类库棚,存储分子超100种,是目前液空中国最大的电子气仓储中心。仓储团队采用GTS(Gideons Tracking Solution)在线系统,对库存进行实时有效的管理,同时在出入库时严格检查产品包装,确保安全。


液空中国西部电子材料中心及供应链中心一期项目投产后,将更好地服务京东方等重要客户的川渝区域工厂,服务中西部客户,助力中国中西部的高科技产业和经济发展。
液空中国西部电子材料中心投产Electronics Materials Center China Meishan started
液空中国西部电子材料中心投产Electronics Materials Center China Meishan started

原文始发于微信公众号(液化空气中国):液空中国西部电子材料中心投产Electronics Materials Center China Meishan started

作者 gan, lanjie