5月23日,荷兰半导体制造设备制造商ASM 在韩国华城新建最先进的创新和制造中心破土动工,ASM将在韩国投资1亿美元,以扩大其研发(R&D)和生产设施。
该公司主要生产用于在半导体薄膜沉积设备。自1989年开始在韩国开展业务,2019年在首尔附近的京畿道华城市设立了华城校区(制造研究与创新中心),研发和生产相关技术和设备。 以2025年建成为目标,第二个制造研究与创新中心将在同一地点建设,以扩大产能。目前工厂的建筑面积刚刚超过 20,000 平方米,新的扩建将增加另外 31,000 平方米,分布在八个楼层。将使华城工厂的研发面积增加一倍以上,而制造面积将增加近三倍。
华城工厂在 ASM 的发展中发挥了重要作用,该工厂为韩国和全球客户提供先进的研发和技术。韩国还是 ASM 的 PEALD 业务的全球中心。ASM 本地研发团队开发的技术一直是半导体行业突破性创新的核心,例如 ALD 四室模块 (QCM) 架构、用于超高纵横比 (>100:1) 间隙的 TENZA™ ALD用于垫片、衬里和其他图案化应用的填充和高质量 PEALD 硅和金属氧化物和氮化物。
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