2023年6月8日,台湾集成电路制造股份有限公司宣布其先进封测六厂正式启用,成为台积公司第一座实现3DFabric™整合前段至后段制程暨测试服务的全方位(All-in-one)自动化先进封装测试厂;同时,为TSMC-SoIC™(系统整合芯片)制程技术量产做好准备。先进封测六厂将使台积公司能有更完备且具弹性的SoIC、InFO、CoWoS及先进测试等多种TSMC 3DFabric™先进封装及硅堆栈技术产能规划,并对生产良率与效能带来更高的综效。

为支持下一世代高效能运算(HPC)、人工智能(AI)和行动应用等产品,协助客户取得产品应用上的成功,赢得市场先机,先进封测六厂兴建工程于2020年启动,位于竹南科学园区,厂区基地面积达14.3公顷,为台积公司截至目前幅员最大的封装测试厂,其单一厂区洁净室面积大于台积公司其他先进封测晶圆厂的总和,预估将创造每年上百万片十二吋晶圆约当量的3DFabric 制程技术产能,以及每年超过1,000万个小时的测试服务。

 

台积公司营运/先进封装技术暨服务、质量暨可靠性副总经理何军博士表示: "微芯片堆栈是提升芯片效能与成本效益的关键技术,因应强劲的三维集成电路(3DIC)市场需求,台积公司已完成先进封装及硅堆栈技术产能的提前部署,透过3DFabric平台提供技术领先与满足客户需求的产能,共同实现跨时代的科技创新,成为客户长期信赖的重要伙伴。"

 

台积公司以智能制造优化晶圆厂生产效率,厂内所建置的五合一智能自动化物料搬运系统总计长度逾32公里,从晶圆到晶粒的生产信息,串联智能派工系统以缩短生产周期,并结合人工智能同步执行精准制程控制、实时侦测异常,建构全方位的芯片等级(Die-level)大数据质量防御网,每秒数据处理量为前段晶圆厂的500倍,并透过产品追溯能力(Die Traceability)建构完整生产履历。

先进封装设备类似前道晶圆制造设备,供应商受益先进封测产业增长。随着先进封装的发展,Bumping(凸块)、Flip(倒装) 、TSV 和 RDL(重布线)等新的连接形式所需要用到的设备也越先进。以长球凸点为例,主要的工艺流程为预清洗、UBM、淀积、光刻、焊料 电镀、去胶、刻蚀、清洗、检测等,因此所需要的设备包括清洗机、PVD 设备、光刻机、 刻蚀机、电镀设备、清洗机等,材料需要包括光刻胶、显影剂、刻蚀液、清洗液等。为促进行业发展,互通有无,欢迎芯片设计、晶圆制造、装备、材料等产业链上下游加入艾邦半导体先进封装产业链交流群。

作者 gan, lanjie