绝缘栅双极型晶体管(Insulated Gate Bipolar Translator, IGBT)是电气化轨道交通装备中负责电能转换的核心部件。高压大容量IGBT 模块长期运行可靠性对牵引变流器的安全运行至关重要。随着轨道交通高速、重载技术的发展和电力电子装置绿色、智能要求的不断提高,对大功率IGBT 模块的性能与可靠性提出了越来越高的要求,需要更高的功率密度、更高的工作温度、更高的运行可靠性来满足新一代牵引动力的应用需求。艾邦建有IGBT产业链交流,欢迎识别二维码加入产业链微信群及通讯录。
高压大容量IGBT 模块内部异质材料热膨胀系数失配是模块疲劳老化失效的主要机理。传统半导体工艺基于铝金属化与互连工艺,相应的主流大功率IGBT 模块大都是沿用铝工艺技术,如芯片表面铝金属化、芯片互连铝引线键合、功率端子与陶瓷衬板焊片焊接等。由于功率模块内部异质材料之间不可避免地存在热膨胀系数失配,加上铝材料热膨胀系数较高,大功率模块内部因长期处于温度循环和功率循环的冲击而出现焊点开裂、焊层退化现象,影响模块长期应用的可靠性。
一、全铜工艺技术的优势
功率半导体封装技术的进步很大程度上来源于材料与制造工艺的发展。为了降低模块异质材料间热膨胀系数的差异,提高其功率循环能力与长期运行可靠性,业内提出全铜工艺技术,主要包含芯片铜金属化、铜引线键合互连和模块铜功率端子超声焊接三部分技术。
研究表明,与传统铝工艺相比,全铜工艺模块不仅使导通损耗降低了10%、浪涌电流能力提升了20%,而且功率循环能力提高了16 倍,提升了功率模块的运行韧性与应用可靠性。
二、全铜工艺技术介绍
1、铜引线健合
大功率IGBT 模块封装的可靠性在很大程度上取决于芯片之间的引线互连工艺可靠性水平。因为引线材料及其键合点的可靠性直接决定了模块应用过程中的功率循环能力。
上表给出了铜和铝材料物理性能比较情况:
-
铜材料电阻率是铝的60%,比铝具有更好的导电与导热性能;
-
弹性模量是铝材料的2~3 倍,延展性好且易于键合操作;
-
比铝有更高的抗电迁移性能
采用铜来替代铝作为芯片金属化和互连引线的材料有利于降低IGBT 功率损耗,提升芯片散热能力,提高模块功率密度和可靠性。
传统铝互连已经接近其工艺极限,铜具有低电阻率、高导热率、低热膨胀系数及高载流能力,铜线的抗电迁移性能增加了约两个数量级,这些物理特性都有利于提升器件的可靠性。采用铜引线取代传统的铝引线实现键合互连,相同线径的铜引线载流能力可以提高70%,是IGBT 技术发展方向,尤其是在轨道交通、电力系统等高端应用领域。
2、芯片的铜金属化
要实现铜引线的互连,首先必须确保芯片表面的金属化电极是铜,因此芯片铜金属化是铜引线键合互连的基础。由于铜比铝电阻率更低且导热系数较高,因而芯片表面的厚铜金属层有利于降低芯片通态损耗、提高芯片表面热容并改善散热环境,铜工艺FRD 芯片的运行韧性较铝工艺芯片有大幅提升。
3、铜端子超声焊接
展位号 |
公司 |
主营 |
8A01 |
广东鑫信智能装备有限公司 |
5G滤波陶瓷模具,粉末冶金模具,粉末成型压机 |
8A05 |
天通吉成机器技术有限公司 |
粉末成型压机 |
8A11 |
长沙建宇网印机电设备有限公司 |
厚膜印刷机、平面厚膜印刷机、圆管厚膜印刷机、CCD自动对位厚膜印刷机 |
8A11 |
天津中环电炉股份有限公司 |
排胶炉、钟罩炉、可视化热分析、烧结炉 |
8A19 |
嘉兴佳利电子有限公司 |
LTCC / HTCC/微波介质陶瓷元件及卫星导航组件 |
8A25 |
江苏国盛新材料有限公司 |
稀土氧化物及化合物 |
8A26 |
上海住荣科技有限公司 |
机械冲孔机、激光打孔机、丝网印刷机、叠片机、温水等静压机、生瓷片热切机、划片机、X-ray |
8A27 |
太原忠睿合科技有限公司 |
冷等静压机,温等静压机,干袋式等静压机 |
8A33 |
常州普雷特印刷科技有限公司 |
NorCote感光胶、刮胶、太阳能刮胶、毛细水菲林 |
8A34 |
东莞金点自动化科技有限公司 |
高精密小冲床 |
8A39 |
田菱精密网版科技(昆山)有限公司 |
精密网版 |
8A40 |
江西江南新材料科技股份有限公司 |
电子级氧化铜粉、高纯硫酸铜、碱式碳酸铜 |
8A43 |
上海匠聚新材料有限公司 |
银浆、浆料 |
8A47 |
东莞市琅菱机械有限公司 |
研磨分散设备 |
8A53 |
合肥伊丰电子封装有限公司 |
封装外壳 |
8A54 |
上海网谊光电科技有限责任公司 |
精密不锈钢网版研发与生产, 超薄3u网版 |
8A57 |
旭化成塑料(广州)有限公司 |
特种工程塑料 |
8A67 |
长沙西丽纳米研磨科技有限公司 |
砂磨机、智能单机、全自动化研磨产线及相关配套研磨设备 |
8A68 |
中电科风华信息装备股份有限公司 |
LTCC/HTCC陶瓷切割和打孔样品 |
8A69 |
深圳市领创精密机械有限公司 |
跑台丝网印刷机 |
8A75 |
珠海诚锋电子科技有限公司 |
视觉外观瑕疵检测 |
8A77 |
公耀国际贸易(上海)有限公司东莞分公司 |
电子浆料用添加剂(分散,增稠,树脂)、硅烷偶联剂、MLCC离型膜、铜粉 |
8A81 |
合肥泰络电子装备有限公司 |
网带炉、钟罩炉、箱式炉、推板炉、辊道炉及配套自动化设备 |
8A81 |
合肥智热装备有限公司 |
钟罩炉、高温气氛箱式炉、真空气氛罐式炉、中温洁净箱式炉、热风箱式炉、热风排胶炉、废气净化炉 |
8A85 |
东莞市朗骏智能装备有限公司 |
发那科注塑机、发那科机器人、发那科线切割、CCD自动检测电子烟及装盘机 |
8A91 |
东莞市腾科自动化设备有限公司 |
高速检测机,外检机,视觉CCD |
8A91 |
东莞市宏康机械有限公司 |
高精度伺服粉末成型机 |
8A95 |
华领精机(浙江)有限公司 |
直线电机、精密主轴、超精密机床、空气静压轴承 |
8A99 |
合肥费舍罗热工装备有限公司 |
脱脂炉,烧银炉,烧结炉,推板炉 |
8A103 |
滨州奥诺新材料科技有限公司 |
96氧化铝陶瓷基板 |
8A104 |
苏州纯尔净化科技有限公司 |
滤芯 |
8A105 |
合肥恒力装备有限公司 |
HTCC高温气氛推板炉,先进陶瓷专用辊道炉,热风箱式排胶炉,先进陶瓷专用钟罩炉,真空回流焊炉,气氛网带炉,智能柔性电镀生产线,手工精密电镀通风柜 |
8A109 |
北京天耀科技有限公司 |
库赛姆台式电镜 |
8A110 |
深圳市艾明博电子科技有限公司 |
AMB覆铜板 |
8A111 |
南通浩盛汽车科技有限公司 |
汽车零部件 |
8B01 |
金动力智能科技(深圳)有限公司 |
IC测试分选机,小颗粒高速测包机 |
8B07 |
江西创科新材料科技有限公司 |
氮化铝陶瓷基板、99.6%氧化铝陶瓷基板和氮化硅基板 |
8B08 |
广东汇成真空科技股份有限公司 |
PVD真空镀膜设备 |
8B11 |
上海煊廷丝印设备有限公司 |
AMB陶瓷基板印刷机,全自动LTCC印刷机,MLCC印刷机,厚膜印刷机,精密填孔/挂壁印刷机 |
8B13 |
广东创芯旗智能工业有限公司 |
高精密电动伺服压机 |
8B15 |
苏州锦业源自动化设备有限公司 |
日本东海高热:ALN粉体连续炉、SIN粉体大型台车炉、中大型真空高温炉(TV炉,TP炉) |
8B16 |
河北高富氮化硅材料有限公司 |
氮化硅粉体、氮化硅基片、结构件 |
8B19 |
上海出光化学有限公司 |
PC聚碳酸酯、SPS间规立构聚苯乙烯、LMPP低模量聚丙烯、I-Marv加氢石油树脂 |
8B21 |
中国电子科技集团公司第四十五研究所 |
印刷机,填孔机,整平机,叠层机 |
8B25 |
安徽贝意克设备技术有限公司 |
推车炉、排胶炉、钼丝炉、热压炉 |
8B26 |
深圳市宇斯特电子有限公司 |
厚膜陶瓷电路 |
8B29 |
深圳市大富方圆成型技术有限公司 |
精密金属及塑胶产品 |
8B30 |
深圳市丁鼎陶瓷科技有限公司 |
陶瓷雾化芯、氧化锆陶瓷件、MIM件 |
8B31 |
株洲艾森达新材料科技有限公司 |
氮化铝粉体、氮化硅基板、氮化铝基板、结构件等 |
8B33 |
浙江正天新材料科技有限公司 |
氮化铝(AlN)、氮化硅(Si3N4)陶瓷基板 |
8B34 |
珠海汉瓷精密科技有限公司 |
DPC陶瓷支架、DBC陶瓷基板、陶瓷电路板 |
8B35 |
北京东方泰阳科技有限公司 |
流延机 |
8B36 |
上海骄成超声波技术股份有限公司 |
新能源电池、功率半导体、汽车线束、橡胶轮胎、塑料包装、食品裁切等行业提供超声波设备及解决方案 |
8B39 |
梅特勒托利多科技(中国)有限公司 |
梅特勒托利多超越系列热分析系统:DSC TGA TMA DMA FlashDSC |
8B40 |
珠海市南洋精密组件有限公司 |
MIM、CIM、PIM |
8B41 |
深圳市鼎华芯泰科技有限公司 |
PCB、陶瓷基板、IC载板专业制造商 |
8B42 |
泰晟新材料科技有限公司 |
氮化硅、氧化铝、钛酸铝、氧化锆结构件 |
8B43 |
河南联合精密材料股份有限公司 |
金刚石微粉、金刚石研磨液、金刚石研磨垫 |
8B47 |
合肥品炙装备科技有限公司 |
工业电窑炉 |
8B48 |
安徽博为光电科技有限公司 |
先进封装、高低温陶瓷、半导体设备 |
8B49 |
阿尔赛(苏州)无机材料有限公司 |
高端脱脂烧结一体炉,气氛烧结炉 |
8B53 |
山东大科电子科技有限公司 |
低介电陶瓷材料,DPC |
8B54 |
深圳市宇宸科技有限公司 |
PTC多层陶瓷整线设备HTCC设备LTCC设备等静压机切割机流延机裁片机填孔机印刷机叠层机等 |
8B55 |
苏州暾达智能装备有限公司 |
冲片机,检测机 |
8B56 |
益阳曙光沐阳电子技术有限公司 |
陶瓷电路板 ,dpc工艺 |
8B63 |
江西晶弘新材料科技有限责任公司 |
DPC陶瓷封装基板 |
8B67 |
泰安巨浪电子材料有限公司 |
陶瓷基覆铜板,柔性电子覆铜板,陶瓷金属化 |
8B68 |
安泰天龙钨钼科技有限公司 |
AMG20钼板 |
8B69 |
惠州市鸿通晟自动化设备有限公司 |
MLCC流延机 |
8B70 |
浙江亚通新材料股份有限公司 |
金属粉末、钎焊粉、活性钎料、磁性材料 |
8B71 |
四川六方钰成电子科技有限公司 |
996氧化铝基板,生瓷带,钨浆 |
8B72 |
武汉欧双光电科技股份有限公司 |
激光焊接机,打标机,切割机 |
8B75 |
广州柏励司研磨介质有限公司 |
氧化锆珠、氮化硅珠、碳化钨珠 |
8B77 |
东莞市津通自动化设备有限公司 |
全自动测试编带机 |
8B81 |
深圳市奔创电子有限公司 |
铝基线路板制造商 |
8B82 |
苏州爱华钻石工业有限公司 |
CBN砂轮/金刚磨盘砂轮、钻石工具/超硬磨削优势服务 |
8B83 |
杭州九朋新材料有限责任公司 |
纳米二氧化钵、纳米氧化铝、纳米氧化锌、特种涂料、催化剂等、各种高端纳米材料 |
8B85 |
浙江鹏孚隆科技股份有限公司 |
聚醚醚酮树脂及其复合改性产品 |
8B89 |
3M中国有限公司 |
胶带与胶黏剂 |
8B95 |
苏州欧亦姆半导体设备科技有限公司 |
高速精密测试封装机 |
8B97 |
岳一科技有限公司 |
光学影像检测解决方案 |
8B98 |
广州先艺电子科技有限公司 |
AMB陶瓷覆铜载板 |
8B100 |
日华化学(中国)有限公司(大智化学庭装株式会社) |
胶水、切割液、研磨液、抛光液、分散剂、悬浮剂、清洗剂等 |
8B103 |
舟山市金秋机械有限公司 |
流延设备 |
8B105 |
江阴通利光电科技有限公司 |
MLCC离型膜 各类保护膜 胶带 |
8B109 |
柘城县金鑫磨料磨具有限公司 |
金刚石微粉 |
8B110 |
武汉宇昌激光科技有限公司 |
陶瓷激光切割打孔划线一体机 |
8C01 |
深圳市索恩达电子有限公司 |
全自动陶瓷膜检查机 |
8C05 |
东莞市微格能自动化设备有限公司 |
微电子LTCC低温共烧陶瓷,MLCC多层陶瓷电容,HTCC高温共烧陶瓷生产线设备和5G陶瓷射频模块生产线 |
8C11 |
重庆华银机电开发有限公司 |
砂磨机(0.3—1000L)、搅拌机(0.4-132kw)、智能生产线、珠珠装卸机、圆筒清洗机、非标罐体、移动缸 |
8C12 |
苏州艾福电子通讯股份有限公司 |
介质滤波器、介质双工器、介质合路器、介质谐振器(TEM、TE、TM)、陶瓷天线、射频标签、陶瓷波导滤波器、陶瓷腔体滤波器 |
8C13 |
合肥市鑫仓工业设备科技有限公司 |
激光打标机、切割机、氦质谱检漏仪 |
8C14 |
广东康荣高科新材料股份有限公司 |
精密陶瓷及结构件、电器陶瓷及配件、电子陶瓷(瓷壳、瓷棒、瓷管)、5G新能源陶瓷及配件 |
8C15 |
池州信安电子科技有限公司 |
真空浸涂机、智能烘干机、真空烧结炉 |
8C19 |
东莞市维迅机械科技有限公司 |
电镀设备、阳极氧化设备、清洗设备、及相关连线自动上下料设备 |
8C21 |
苏州德龙激光股份有限公司 |
精密激光加工设备及激光器 |
8C22 |
河南三特炉业科技有限公司 |
马弗炉、电阻炉、管式炉、升降炉、台车炉、工业炉、热处理加热炉系列产品 |
8C25 |
苏州红恩新材料科技有限公司 |
氧化铝陶瓷纤维制品 |
8C26 |
惠丰钻石股份有限公司 |
金刚石微粉 |
8C26 |
深圳市康柏工业陶瓷有限公司 |
氧化锆/氧化铝/碳化硅/氮化硅等先进结构陶瓷专业实体生产商 |
8C33 |
浙江德龙科技有限公司 |
薄膜陶瓷,流延机,等静压机、冲孔机、生磁带切割机、球磨机、分切机 |
8C39 |
浙江精瓷半导体有限责任公司 |
DPC薄膜陶瓷电路板、氧化铝DBC覆铜陶瓷封装材料、氧化铝DBC覆铜陶瓷封装材料、AMB氮化硅覆铜封装材料、陶瓷制冷片 |
8C40 |
东莞市欧凡能源科技有限公司(大米云谷) |
|
8C41 |
河南龙兴钛业科技股份有限公司 |
二氧化钛等粉体材料 |
8C42 |
南京以太通信技术有限公司 |
介质陶瓷粉体、介质滤波器、介质谐振器、天线、陶瓷封装管壳、氧化铝陶瓷件 |
8C43 |
合肥高歌先进电炉装备有限公司 |
高温高压陶瓷专用烧结炉 |
8C47 |
西安鑫乙电子科技有限公司 |
流延机 |
8C48 |
广东西尼科技有限公司 |
视觉智能选别机 |
8C49 |
柘城县施诺德钻石科技有限公司 |
金刚石微粉破碎料 |
8C50 |
深圳市联特佳精密科技有限公司 |
超高精密模具配件 |
8C53 |
河北思瑞恩新材料科技有限公司 |
研磨抛光材料 |
8C54 |
金业新材料科技(昆山)有限公司 |
陶瓷电容器瓷粉、结构陶瓷材料及制品 |
8C71 |
苏州精创光学仪器有限公司 |
超声波自动化设备/DBC自动缺陷检测设备/AMB陶瓷基板终检检测自动化设备 |
8C77 |
深圳市百柔新材料技术有限公司 |
PCB塞孔材料、PCB喷墨打印材料、PCB&PCB+导电浆料、陶瓷和玻璃基板电路、光伏材料 |
8C81 |
河北美科微晶材料有限公司 |
美科微晶 |
8C82 |
扬州锦润网带制造有限公司 |
金属丝网及网带 |
8C83 |
肇庆市宏华电子科技有限公司 |
薄膜流延机、薄膜丝印机、薄膜叠层机、等静压机、切割机、封端机、外观检测机、测试机、编带机等 |
8C84 |
深圳市瑞世兴科技有限公司 |
电路板生产所需的化学品和LCD液晶玻璃用化学品,多聚亚磷酸铝阻燃材料 |
8C95 |
浙江矽瓷科技有限公司 |
介质陶瓷材料、生瓷带 |
8C96 |
深圳市博敏电子有限公司 |
DPC/AMB/TFC/PCBA/特种电路板 |
8C98 |
深圳市鑫腾辉数控设备有限公司 |
精雕机 |
8C99 |
东莞市中微力合半导体科技有限公司 |
金刚石研磨垫、金刚石蜂窝垫、聚晶金刚石液 |
8C110 |
创轩(南京)激光智能科技有限公司 |
精密激光加工设备 |
8H01 |
德中(天津)技术发展股份有限公司 |
激光精密加工设备、电路板打样设备 |
8H05 |
无锡市阿特兹智能装备有限公司 |
喷雾干燥设备 |
8H05 |
无锡市新星源机电设备制造有限公司 |
单/双推板式道炉,高温单 (双)通道道炉,网带炉、真空炉 |
8H06 |
珠海粤科京华科技有限公司 |
96%氧化铝、99%氧化铝、氧化锆陶瓷基板、陶瓷金属化、陶瓷发热片 |
8H08 |
深圳市岗峰精密机械有限公司 |
高速精密冲床、高速精密自动冲床 |
8H11 |
江苏淮瓷科技有限公司 |
半导体集成电路陶瓷外壳 |
8H13 |
武汉赛斐尔激光技术有限公司 |
电子陶瓷激光划片机、电子陶瓷高速激光精密打孔机、玻璃激光精密切割机、紫外激光精密切割机 |
8H14 |
石家庄明远科技有限公司 |
高精密丝网版 |
8H19 |
西安航科创星电子科技有限公司 |
电子陶瓷材料、氧化铝陶瓷基板(LTCCHTCC)、氮化铝陶瓷基板(AlN)、氧化铝陶瓷封装管壳(LTCCHTCC) |
8H20 |
深圳市聚晟源五金制品有限公司 |
铝外壳、精密件CNC为主、铝型材定制为主 |
8H21 |
深圳市金岷江智能装备有限公司 |
流延机 |
8H25 |
东莞市智达精密机械有限公司 |
外检机,测包封装,组装送料精密铝合金振动盘涉及电感,电阻,五金,贴片电子元件,密封圈光学镜头,半导体 |
8H26 |
上海福讯电子有限公司 |
精密印刷模板 |
8H29 |
厦门钜瓷科技有限公司 |
氮化铝粉体及陶瓷制品 |
8H33 |
苏州国科测试科技有限公司 |
LTCC&HTCC检测设备 |
8H39 |
成都旭瓷新材料有限公司 |
氮化铝、氧化铝、氮化硅陶瓷基板 |
8H47 |
太仓万信达化工材料有限公司 |
湿电子化学药水 |
8H48 |
湖南维尚科技有限公司 |
热等静压炉、氮化硅专用烧结炉、氮化硅陶瓷基板炉、氮化硅粉体烧结炉 |
8H49 |
深圳腾源盛科技有限公司 |
HTCC(高温共烧陶瓷)/LTCC(低温共烧陶瓷),生瓷带,粉体,浆料 |
8H50 |
深圳市鑫贵金银提炼技术有限公司 |
回收含金银钯铂铑锡铜等各类电子废料 |
8H53 |
广东汇京智能装备有限公司(原东莞市康搏智能装备有限公司) |
纳米砂磨机、高速分散机&分散罐、研磨介质 |
8H54 |
东莞市精微新材料有限公司 |
银合金粉、合金粉体定制、钎焊粉体 |
8H57 |
深圳市盛鸿辉科技有限公司 |
PCB、FPC电镀设备 |
8H57 |
深圳市荣华安骏机电设备有限公司 |
专业陶瓷板DPC、DBC、AMB工艺自动化设备制造商;半导体引线框架精密蚀刻、铜带式镀银镀镍环形线(配自动上下料机)自动化设备制造商 |
8H61 |
上海晶材新材料科技有限公司 |
LTCC生瓷料带及金属导体浆料 |
8H67 |
常州速稳智能机械有限公司 |
压电式微小颗粒高速送料系列设备 |
8H69 |
深圳市汇旭达科技有限公司 |
涂布机,叠层机,精密抛磨设备,半导体材料 |
8H70 |
广东斯丹德五金通信科技股份有限公司 |
微型精密零件、SMD精密金属将压件 |
8H71 |
综研化学(苏州)有限公司 |
高分子产品/聚丙烯酸脂类涂剂 ;功能性有机粉体/聚丙烯酸脂类超微粉体 |
8H72 |
东莞市科诗特技术有限公司 |
激光切割、打孔在内的多款激光智能加工装备等 |
8H75 |
陕西欧西克电子有限公司 |
生产高压陶瓷电容、5G微波介质粉料、GPS天线片 |
8H76 |
深圳倍特莱福电子科技有限公司 |
研磨机 |
8H77 |
武汉坤元流延科技有限公司 |
流延机、球磨机、脱泡机、涂布机、裁片机、冲孔机、丝印机、叠片机、温等静压机、热切机等 |
8H81 |
中山市基础科技有限公司 |
陶瓷和金属封装基板/DPC/AMB/IMS |
8H82 |
长沙珲泰陶瓷科技有限公司 |
氧化铝粉、氧化铝抛光粉、陶瓷造粒粉、无粘结剂造粒粉、5G陶瓷滤波器氧化铝粉、ZTA、电熔莫来石、硅藻土硅酸锆陶瓷珠、表面处理/喷砂材料 |
8H85 |
福建华清电子材料科技有限公司 |
氮化铝、氧化铝陶瓷基板 |
8H89 |
广州诺顶智能科技有限公司 |
LTCCHTCC生瓷带全自动AOI检测设备、薄膜电路厚膜基板全自动AOI检测设备 |
8H95 |
拉普拉斯(广州)半导体科技有限公司 |
压力烧结炉、真空烧结炉,半导体器件用氧化炉、退火炉、LPCVD |
8H96 |
上海热凡高温设备有限公司 |
3D金属打印后热处理设备、HTCC、MLCC烧结设备、真空舒焊及扩散焊热工装备 |
8H99 |
杭州兴容科技有限公司 |
MLCC被动元器件及陶瓷材料 |
8H100 |
上海品豫有色金属科技有限公司 |
有色金属,稀有金属,难溶金属,贵金属,高温耐蚀材料,精密合金,发热电阻合金材料等 |
8H103 |
湖南南国设备科技有限公司 |
研磨机械设备、五金产品 |
8H104 |
湖南西欧新材料有限公司 |
特种陶瓷 |
8H105 |
璞石精密机械制造(广州)有限公司 |
叠层陶瓷电容送料机的厂家 |
8H109 |
都匀双成机械设备有限公司 |
数控雕刻机 |
8H110 |
福州赛瑞特新材料技术开发有限公司 |
氮化硼陶瓷 |
8H111 |
山东国瓷功能材料股份有限公司 |
纳米级钛酸钡及配方粉、纳米级复合氧化锆、高热稳定性氧化铝、氮化铝、蜂窝陶瓷、喷墨打印用陶瓷墨水、陶瓷球及陶瓷轴承、陶瓷基板等 |
8H115 |
中国电子科技集团公司第二研究所 |
切片机、打孔机、通孔填充机、叠片机、热切机、印刷机等全线设备 |
8H116 |
深圳正阳工业清洗设备有限公司 |
玻璃清洗,五金冲压件清洗,金属件喷淋,工业冷水机,纯水机,镀膜线,清洗线,触控玻璃清洗 |
8H118 |
深圳市宇阳科技发展有限公司 |
MLCC产品 |
8H121 |
SERIA CORPORATION |
陶瓷印刷机 |
8H123 |
广东中科微精光子制造科技有限公司 |
高精密激光高效切割/打孔 |
8H124 |
太平洋亞洲系統有限公司 |
丝网印刷机、自动光学检测机AOI、熔炉烧结炉、机械冲孔机 |
8H129 |
昆山皇冠研磨材料有限公司 |
砂带、陶瓷刷、发泡刷等 |
8H130 |
焦作众成新材料有限责任公司 |
氧化锆粉体、陶瓷结构件、氧化锆珠 |
8H131 |
浙江京驰科技发展有限公司 |
流延机、脱泡桶、过滤器 |
8H137 |
深圳市飞仕达机械设备有限公司 |
水平线设备 |
8H149 |
安徽瑞海新材料有限公司 |
电子化学品、湿制程表面处理解决方案 |
8H149 |
昆山市广程机械设备有限公司 |
专业研发生产制造DBC,AMB,DPC全流程湿制程设备供应商及解决方案 |
8H153 |
广东振华科技股份有限公司 |
真空镀膜设备 |
8H157 |
东莞产台商贸有限公司 |
送料机 |
8H158 |
天津宏海禄克科技有限公司 |
Zeiss扫描电镜Motic显微镜Zeiss影像仪 |
8H158 |
北京宁远博纳电子科技有限责任公司 |
Zeiss扫描电镜Motic显微镜Zeiss影像仪 |
8H164 |
湖南宇环精密制造有限公司 |
数控磨床、数控研磨抛光机、活塞环专用设备、智能装备 |
8H159 |
北京宁远博纳电子科技有限责任公司 |
LTCC/HTCC/MLCC 机械、激光打孔机、丝网印刷机(含卷对卷)、膜厚测试仪、叠片机(含卷对卷)、等静压机、生切机、烧结炉(箱式链式)、端银机、划片机 |
8H163 |
洛阳赫特仪器设备有限公司 |
热分析仪器、高温电炉 |
8D36 |
苏州铼赛智能科技有限公司 |
3D打印机 |
8D49 |
深圳市海泰精工科技有限公司 |
高速检测机,外检机、陶瓷薄膜电极印刷检测设备 |
8D69 |
深圳市君鑫达电子有限公司 |
Type-C开发商 |
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东莞市永佳塑胶科技有限公司 |
电子烟应用管材和棒材 |
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深圳市和力泰科技集团有限公司 |
陶瓷精雕机、抛光机、烟包机、装盒机 |
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深圳光华伟业股份有限公司 |
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珠海真理光学仪器有限公司 |
激光粒度仪/纳米粒度Zeta电位分析仪/喷雾粒度仪 |
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东莞市泰科工程塑料有限公司 |
PCTG,PEEK,PA12,PC |
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广东渝丰高分子材料有限公司 |
PPS、PEI、PEEK、PPSU、PET、PBT、高温尼龙 |
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东莞市柯睿电子有限公司 |
Pogo Pin, Pogo Pin连接器,精密及智能硬件精密连接器方案提供商 |
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深圳市鑫陶窑炉设备有限公司 |
高温烧结炉 |
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佛山星辉恒业供应链有限公司 |
PCTG,PA12,PPA,PC,透明尼龙,PA66, PA6环保颗粒 |
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广州北晟新材料科技有限公司 |
稀土永磁、先进金属材料、金属注射成型、精细陶瓷、钛合金材料 |
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宁波琳盛高分子材料有限公司 |
PEEK高温管 |
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东莞市林洋机械设备有限公司 |
光学分选机 |
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小字符喷码机、激光打标机 |
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科思创(上海)投资有限公司 |
可持续的材料解决方案 |
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深圳市晶瓷精密科技有限公司 |
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