您的应用是否涉及前端 (FEOL)、后端 (BEOL)、湿法蚀刻流程、PVD 或电镀工具?
Semitron®、Ertalyte®、
Ketron® 和 Techtron® 产品系列!
多种材料可供选择,材料组合最为广泛,
确保您的湿制程顺利进行。
特 点
+
防腐蚀
+
平整
+
耐磨
+
纯净
+
抗化学性
+
尺寸稳定性好
材料 |
尺寸 稳定性 |
HDT 264 psi |
外观 |
形状 |
Semitron® PP |
+++ |
210 |
白色 |
|
Ertalyte® PET-P |
++++ |
240 |
白色 |
|
Techtron® PPS |
+++++ |
250 |
浅褐色 |
|
Ketron® CA30 PEEK |
+++++ |
518 |
黑色 |
|
Ketron® 1000 PEEK |
+++++ |
320 |
棕褐色 |
|
典型
应用场景
三菱化学高新材料的工程塑料非常适合设备上的:
■ 转盘
■ 齿轮
■ 喷头
■ 晶圆抓取器
■ 针脚和螺钉等
产品推介
Semitron® PP 是专为半导体湿制程应用研发的聚丙烯型材。具有非常好的尺寸稳定性。
内部应力小,不易变形、不易翘曲
(即使薄板仅 2 英寸)
纯度高,最大限度降低表面污染风险
提高加工良品率,降低整体成本
文章来源:三菱化学
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