多晶硅堆叠
石英坩埚内填充高纯多晶硅的工艺
铸锭生长
多晶硅在高温下熔化，然后生长成单晶锭的过程
锭磨削和裁剪
使锭表面光滑然后切割成块的过程
绳锯
将锭块切割成单片晶圆的过程
磨边
晶圆边缘整形过程
研磨
使晶圆表面光滑平整的工艺
蚀刻
利用化学反应消除晶圆表面工艺损伤的工艺
双面磨削
去除晶圆表面小凸块的工艺
抛光
通过精密加工去除晶圆上的微小凸块的过程
打扫
去除晶圆表面杂质的工艺
检查
检测晶圆形状、平整度等品质的工序
粒子计数
晶圆表面缺陷检测流程
外延
生长在晶圆上添加单晶硅层的工艺
包装
包装产品的过程，以防止其受到冲击、灰尘和潮湿
资料来源官网
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