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陶瓷机械手臂
半导体产品要求非常洁净,要做到无污染。在生产半导体产品时,对环境要求很高,一般都在严格要求的无尘车间,生产人员要穿防静电服。
半导体产品是非常精细的产品,有些产品厚度超薄,只有零点几毫米,甚至更薄,所以要求轻拿轻放。在加工和各项处理中,对接触半导体零件的各种夹持工具,装夹工具和器皿都有很高的要求,主要是不污染半导体零件,同时这些工装夹具也要能经受各种酸,碱和热处理的考验,做到经久耐用。
机械手臂材料:一般选用99氧化铝陶瓷居多。
陶瓷机械手臂名称来由:陶瓷机械手臂用来抓取和装夹半导体零件,作用像手。设计成扁平的手臂和手掌,因些叫机械手臂。
陶瓷机械手臂的结构和作用: 机械手臂里面有气孔和通气槽,在抽气时候,能形成真空,从而吸附半导体零件,做到轻接触,不会夹伤,不会碰伤半导体零件薄片。
三、与金属手臂相比,用陶瓷手臂装夹半导体零件的优点:
1、陶瓷机械手臂比金属手臂更耐酸腐蚀,更耐碱腐蚀。在半导体各项处理时,使用寿命更长;
2、陶瓷机械手臂不容易跟其它物质发生反应,不会在接触物品上留下具有污染的细小颗粒和带电的电荷,不会产生金属离子,不会污染半导体零件;
3、在半导体进行热处理时,陶瓷机械手臂受热变形也少,减少半导体零件在热处理时的变形;
陶瓷材料的应用,不仅可以做成抓取装夹半导体零件的机械手臂。根据陶瓷绝缘,耐高温,不怕酸,不怕碱,性能稳定的特点,不污染接触产品的特性,可以做成其它在严苛的环境中使用的零件,可以做成金属和塑料无法胜任的地方。
原文始发于微信公众号(深圳海德精密陶瓷):半导体机械手臂一般用什么材料?陶瓷手臂PK金属手臂的优劣势