SiC晶圆系列产品,分为SiC MOSFET和SiC SBD两个系列。
下面将对于SiC MOSFET和SiC SBD两个系列,进行详细介绍~
在晶圆设计上通过优化JFET宽度、源极接触区宽度等关键参数,采用更小的元胞尺寸,结合瑞能先进的SiC晶圆减薄技术,显著提高了芯片单位面积的通流能力。
工艺上持续优化CSL(电流扩展层)和外延层掺杂浓度、采用更薄的栅极氧化层结合栅氧氮化、沟道自对准等先进工艺,进一步降低导通电阻,在几乎不增加工艺制造成本的同时,带来极低的Ron,sp(比导通电阻率)。
瑞能SiC MOSFET的通态电阻随温度变化较小,在175℃结温时,导通阻抗仍可以保持在较低水平,该特性可以提升高温系统效率,降低器件选型余量,在较高应用环境温度下仍保持出色性能。
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瑞能SiC MOSFET命名规则标注在15V门极驱动电压下的Rdson,提供在较低门极驱动电压下工作的可能性,更容易在传统设计中直接导入替换,并且SiC MOSFET产品经过了门极-15V~+24V偏压的HTGB可靠性测试,对应更大的门极驱动电压范围以及同类产品中最优秀的门极寿命(TDDB)表现
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瑞能SiC SBD产品有650V和1200V
两种耐压规格
以更小的芯片尺寸、更薄的晶圆厚度
提供最佳产品竞争力
650V G6产品着重优化了肖特基接触与PN结面积比例,有着超低Vf(标准值1.26V),而且通过外延掺杂浓度的优化以及晶圆减薄,得到了极低的通态阻抗。
经过优化设计的P+区域更好地保护了肖特基接触部分。优化后的JTE结构增强了边缘末端区域得到更高的器件耐压 BV > 800V 和超低的反向漏流Ir。实现了产品性能和可靠性的完美结合。
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SiC SBD晶圆650V和1200V列表
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瑞能SiC晶圆产品可以提供未切割及切割等4种形式,以满足不同客户的需求。下面我以1200V/30A SiC SBD晶圆,举例说明包装的4种方式~
包装形式:未切割的整片晶圆
包装形式:晶圆切割后附在蓝膜(UV膜)
包装形式:晶圆切割后附在蓝膜(UV膜)带框
包装形式:晶圆切割后华夫盒包装
指定晶圆包装形式
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SiC晶圆的广泛应用场景
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原文始发于微信公众号(瑞能半导体):刚摘得年度大奖的1200V/12mΩ SiC,我想介绍给你