硅元素由硅砂到微芯片的旅程
硅是地壳中第二常见的元素,仅次于氧

硅元素由硅砂到微芯片的旅程
几乎所有的微芯片都由高纯度的硅片加工而成

 

硅元素由硅砂到微芯片的旅程
 

烤面包机、手机、自动驾驶汽车等人类日常使用的设备,都包含了由硅这种化学元素制造的微芯片。硅在微芯片中必不可少,因为它是一种半导体,可以在特定条件下导电。

 

由于成本低且易于生产,硅是电子设备中最常见的半导体。

 

 

处理硅的工艺

 

 

用于制造芯片的硅:

 

始于专门开采的硅砂

每十亿个原子中最多只能包含一个非硅原子——即纯度至少应达到99.9999999%,也称为9个9或9N。

 

硅的提纯首先需要加热硅砂,直至产生冶金级硅 (MG-Si)。随后对其进一步处理,获得超高纯度的电子级硅 (EG-Si)。

 

硅元素由硅砂到微芯片的旅程

在Silfex生产的“硅晶体”

 

几乎所有现代芯片的生产工艺都始于被称为“硅晶棒”或“硅晶体”的高纯度硅锭切片。将一颗完美硅籽晶浸入熔融硅中,然后慢慢提取,最后得到硅晶棒,再将其切成晶圆。

 

晶圆的直径一般为300mm(近12英寸),通常可容纳148个20mm x 20mm的芯片。

对晶圆表面进行抛光,以达到原子级的光滑,晶圆边缘的切痕与缺口也会被打磨光滑。

 

电子级硅也被用于制造半导体制造设备的部件,如芯片制造工艺中用于晶圆刻蚀的部件。使用由硅制成的部件可以去除刻蚀工艺中的晶圆污染,因为没有非硅材料可以在晶圆上被再次沉积。

 

 

泛林集团如何利用硅

 

 

泛林集团旗下业务部门Silfex是全球最大的定制硅元器件生产与制造商。泛林同时生产刻蚀设备及设备中使用的硅部件,因而可以兼顾两者的性能优化。

 

泛林在设计硅部件时,致力于最大限度地延长使用寿命,从而降低客户的维护成本,并延长刻蚀设备的正常运行时间。

原文始发于微信公众号(泛林集团):硅元素由硅砂到微芯片的旅程

作者 808, ab