大半导体产业网消息，日前，晶盛机电披露投资者关系活动记录表显示，公司自2017年开始碳化硅晶体生长设备和工艺的研发，通过研发团队的技术攻关，公司于2018年成功研发出6英寸碳化硅晶体生长炉，于2020年建立长晶和加工研发实验线，于2022年成功研发出8英寸N型碳化硅晶体。2023年11月，公司正式启动进入了碳化硅衬底项目的量产阶段。
据悉11月4日，晶盛机电与杭州湾上虞经济开发区举行“年产25万片6英寸、5万片8英寸碳化硅衬底片项目”签约暨启动仪式。此次签约项目总投资21.2亿元，建成后，晶盛机电将利用自身的技术和资源优势，加快碳化硅衬底片的关键核心技术攻关和产业化。
并表示目前公司已建设了6-8 英寸碳化硅晶体生长、切片、抛光中试线，6英寸衬底片已通过多家下游企业验证，正处于快速上量阶段，8英寸衬底片处于小批量试制阶段。
来源：SEMI公众号
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碳化硅半导体加工技术创新产业论坛（苏州·6月13）
01
会议议题
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序号 |
暂定议题 |
拟邀请企业 |
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1 |
8英寸碳化硅衬底产业化进展 |
拟邀请碳化硅衬底企业/高校研究所 |
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2 |
大尺寸碳化硅单晶生长技术痛点解析 |
拟邀请碳化硅单晶制备企业/高校研究所 |
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3 |
新一代切片机“破局”8英寸碳化硅 |
拟邀请切割设备企业/高校研究所 |
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4 |
激光技术在碳化硅切割及划片上的应用 |
拟邀请激光企业/高校研究所 |
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5 |
液相法制备碳化硅技术 |
拟邀请碳化硅企业/高校研究所 |
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6 |
国产MBE设备应用及发展情况 |
拟邀请碳化硅外延企业/高校研究所 |
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7 |
SiC MOS器件结构设计解决方案 |
拟邀请碳化硅器件企业/高校研究所 |
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8 |
车用碳化硅加工工艺与要点研究 |
拟邀请碳化硅加工企业/高校研究所 |
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9 |
利用碳化钽的碳化硅单晶生长技术 |
拟邀请碳化硅企业/高校研究所 |
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10 |
碳化硅衬底研磨抛光工艺及耗材技术 |
拟邀请研磨抛光设备企业/高校研究所 |
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11 |
适用于8英寸碳化硅的先进切割工艺 |
拟邀请切割设备企业/高校研究所 |
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12 |
化学机械抛光在碳化硅上的反应机理 |
拟邀请抛光设备企业/高校研究所 |
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13 |
碳化硅衬底及外延缺陷检测技术 |
拟邀请检测设备企业/高校研究所 |
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14 |
8英寸碳化硅外延材料生长核心工艺与关键装备 |
拟邀请碳化硅外延企业/高校研究所 |
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15 |
外延掺杂技术的优化与改进 |
拟邀请碳化硅外延企业/高校研究所 |
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16 |
8英寸碳化硅的氧化工艺技术 |
拟邀请碳化硅企业/高校研究所 |
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17 |
碳化硅离子注入设备技术 |
拟邀请离子注入企业/高校研究所 |
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18 |
高纯度碳化硅粉末制备碳化硅晶体 |
拟邀请激光企业/高校研究所 |
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19 |
碳化硅先进清洗技术 |
拟邀请清洗设备企业/高校研究所 |
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20 |
碳化硅关键装备的现状及国产化思考 |
拟邀请碳化硅设备企业/高校研究所 |
更多相关议题征集中，演讲及赞助请联系张小姐：13418617872 （同微信）
02
拟邀企业
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高纯碳粉、硅粉、碳化硅粉末、坩埚、籽晶等材料企业；
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晶锭、衬底、外延、晶圆等产品企业；
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碳化硅晶体、外延生长等设备企业；
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金刚石线切割、砂浆线切割、激光切割等切割设备企业；
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碳化硅磨削、研磨、抛光和清洗及耗材等企业；
-
检测、退火、减薄、沉积、离子注入等其他设备企业；
-
高校、科研院所、行业机构等；
03
报名方式
方式1：加微信
https://www.aibang360.com/m/100182?ref=172672
04
收费标准
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付款时间 |
1~2个人(单价每人) |
3个人及以上(单价） |
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4月11日前 |
2600/人 |
2500/人 |
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5月11日前 |
2700/人 |
2600/人 |
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6月11日前 |
2800/人 |
2700/人 |
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现场付款 |
3000/人 |
2800/人 |
★费用包括会议门票、全套会议资料、午餐、茶歇等，但不包括住宿。
05
赞助方案
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项目 |
服务内容 |
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主题演讲+现场展台 |
30 分钟主题演讲 |
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3个参会名额 |
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商标展示：背景板logo、会刊封面logo |
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现场展示台1个，主办方提供搭建喷绘背景板搭建，客户自行设计（设计稿规格要求：宽*高 200cm*112.5cm，分辨率100以上，格式为PSD或AI原文件） |
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会刊广告 |
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易拉宝/礼品赞助（2选1） |
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主题演讲 |
30 分钟主题演讲 |
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现场展台 |
现场展示台，展示样品、资料以及洽谈 |
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喷绘背景板1个，主办方提供搭建搭建，客户自行设计（设计稿规格要求：宽*高 200cm*112.5cm，分辨率100以上，格式为PSD或AI原文件） |
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3个参会名额 |
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会刊广告 |
研讨会会刊，彩色全页广告（尺寸210*285mm） |
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侧屏广告 |
主讲屏幕LED两边侧屏，单边侧屏广告，全天会议期间展示（客户自行设计，图片尺寸以实际面积为准） |
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参会证挂绳赞助 |
挂绳上印刷公司名称及LOGO |
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参会证赞助 |
参会证上印刷公司名称及LOGO |
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资料袋赞助 |
资料袋上印刷公司名称及LOGO |
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桌牌赞助 |
桌牌上印刷公司名称及LOGO |
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资料入袋 |
企业宣传册(不超过6页)放入资料袋 |
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会议通讯录banner横幅广告 |
植入在本会议观众通讯录置顶的横幅广告，有效期6个月 |
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Logo展示 |
背景板logo，会刊封面logo |
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易拉宝 |
现场放置1个易拉宝作为展示 |
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礼品赞助 |
礼品可印上公司logo，赠送参会听众作为企业标识推广 |
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微信推送 |
微信公众号软文推广，企业介绍及相关软文1篇 |
原文始发于微信公众号（艾邦半导体网）：晶盛机电：碳化硅衬底项目进入量产阶段