近日,据平煤神马公众号消息,中宜创芯公司实验室成功生长出河南省第一块8英寸碳化硅单晶,全面验证了该公司碳化硅半导体粉体在长晶方面的独特优势,标志着河南省碳化硅半导体技术进入国内主流行列。

平煤神马成功生长出河南第一块8英寸SiC单晶

中宜创芯公司是由中国平煤神马控股集团和平顶山发展投资控股集团共同出资设立的合资公司,主要是以电子级高纯碳化硅粉体和碳化硅衬底的生产和经营业务。2023年9月20日年产2000吨碳化硅半导体粉体项目(一期)建成投产,同年10月2日,经权威机构检测,首炉碳化硅产品纯度为99.99996%,达到国内优等品产品标准。12月20日宣布产能达到500吨。

中宜创芯致力于打造高质量、低成本的碳化硅半导体粉体,利用国内外最先进的粉体合成炉自动化无污染破碎技术组织研发生产,具有单炉产能大、颗粒度大、纯度高、阿尔法含量高和游离碳低等优点,更适合8英寸碳化硅厚单晶的生长。

平煤神马表示,将碳化硅半导体材料项目列入集团“6+2”重大科研项目,下一步将着力做优做强碳化硅半导体粉体,以高质量、低成本碳化硅粉体为碳化硅行业发展提供有力支持,加快打造全国最大、世界一流的碳化硅半导体材料生产基地。

来源:平煤神马公众号、易成新材公众号

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碳化硅半导体加工技术创新产业论坛(苏州·7月4日)

01

会议议题

序号

暂定议题

拟邀请企业

1

8英寸碳化硅衬底产业化进展

拟邀请碳化硅衬底企业/高校研究所

2

大尺寸碳化硅单晶生长技术痛点解析

拟邀请碳化硅单晶制备企业/高校研究所

3

新一代切片机“破局”8英寸碳化硅

拟邀请切割设备企业/高校研究所

4

激光技术在碳化硅切割及划片上的应用

拟邀请激光企业/高校研究所

5

液相法制备碳化硅技术

拟邀请碳化硅企业/高校研究所

6

国产MBE设备应用及发展情况

拟邀请碳化硅外延企业/高校研究所

7

SiC MOS器件结构设计解决方案

拟邀请碳化硅器件企业/高校研究所

8

车用碳化硅加工工艺与要点研究

拟邀请碳化硅加工企业/高校研究所

9

利用碳化钽的碳化硅单晶生长技术

拟邀请碳化硅企业/高校研究所

10

碳化硅衬底研磨抛光工艺及耗材技术

拟邀请研磨抛光设备企业/高校研究所

11

适用于8英寸碳化硅的先进切割工艺

拟邀请切割设备企业/高校研究所

12

化学机械抛光在碳化硅上的反应机理

拟邀请抛光设备企业/高校研究所

13

碳化硅衬底及外延缺陷检测技术

拟邀请检测设备企业/高校研究所

14

8英寸碳化硅外延材料生长核心工艺与关键装备

拟邀请碳化硅外延企业/高校研究所

15

外延掺杂技术的优化与改进

拟邀请碳化硅外延企业/高校研究所

16

8英寸碳化硅的氧化工艺技术

拟邀请碳化硅企业/高校研究所

17

碳化硅离子注入设备技术

拟邀请离子注入企业/高校研究所

18

高纯度碳化硅粉末制备碳化硅晶体

拟邀请激光企业/高校研究所

19

碳化硅先进清洗技术

拟邀请清洗设备企业/高校研究所

20

碳化硅关键装备的现状及国产化思考

拟邀请碳化硅设备企业/高校研究所

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02

拟邀企业

  • 高纯碳粉、硅粉、碳化硅粉末、坩埚、籽晶等材料企业;
  • 晶锭、衬底、外延、晶圆等产品企业;

  • 碳化硅晶体、外延生长等设备企业;

  • 金刚石线切割、砂浆线切割、激光切割等切割设备企业;

  • 碳化硅磨削、研磨、抛光和清洗及耗材等企业;

  • 检测、退火、减薄、沉积、离子注入等其他设备企业;

  • 高校、科研院所、行业机构等;

……

03

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原文始发于微信公众号(艾邦半导体网):平煤神马成功生长出河南第一块8英寸SiC单晶

作者 808, ab

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