3月24日,SKC召开股东大会和董事会,任命朴元哲为新任CEO。他曾提及“半导体材料:以 SKC solmics 为中心带动进行。以往把事业重点放在此前完全依赖从日本进口的基础材料替代品上,那么现在则是将能够彻底改变整个半导体产业链的材料作为新事业。”
SKC CEO 朴元哲
SKC基于长期的材料技术经验、力争站在半导体材料韩国国产化的前沿。利用SKC在存储介质和聚氨酯业务中积累的技术实力,成功开发出了半导体特殊材料CMP研磨垫和空白光研磨。SKC通过不懈研发和与全球客户的紧密合作,正朝代表性半导体特殊材料企业迈进,进一步提高技术,以此推进半导体的能源效率化。
目前SKC生产的半导体材料分为陶瓷配件、CMP研磨垫、空白光掩模、湿化学品、精密清洗五个领域。
陶瓷配件
CMP研磨垫
空白光掩模
湿化学品
精密清洗
SKC solmics正向着单晶硅(Si)、氧化铝(Al2O3)、碳化硅(SiC)、石英(Quartz)等半导体工艺用精细陶瓷新材料的开发、生产和加工业务迈进,为材料韩国国产化做出了巨大贡献。目前,SKC solmics以优秀的研究人力和开发设备为基础,扩大大型陶瓷和高性能陶瓷材料技术的开发。今天我们聊一下陶瓷配件—— 碳化硅SiC。
碳化硅 SiC(Silicon Carbide)
概述:碳化硅(SiC)对比LP-CVD工艺中应用的硅和石英材料,其热导性、耐蚀性、耐化学性更好,而且热膨胀率低,因此可长时间使用的化合物材料. 高纯 SiC 产品在 1,200℃以上的高温下稳定,可应用在半导体扩散工艺及常压 CVD, LP-CVD。高韧性的碳化硅也可应用在切削工具,弹簧,发动机零部件等领域。
产品示例
1
材料特性
◾ 碳化硅化学性能稳定,可耐腐蚀 HCI, HF, H₂, H₂SO₄, NaOH等物质
◾ 纯碳化硅单晶在常温下为绝缘体,但根据纯度及杂质种类不同
◾ SiC表面进行 CVD后,表面涂层可防止其他元素扩散,并增加酸性环境中的耐蚀性
2
主要产品
产品 |
介绍 |
BOAT |
半导体扩散CVD工艺中, 用于移动晶圆的晶舟 |
TUBE |
半导体扩散CVD工艺中, 保护晶舟用的套管 |
CAP |
支撑SiC的产品, 用于防止热损失的保温作用 |
其他 |
Ring Type的各种半导体耗材 |
3
主要产品物性表
|
>99.9 (CVD>7N) |
Bulk Density(g/cm³) 密度 |
>2.95 |
Load0.5Kg HV1=9.807N Vickers Hardness(GPa) 维氏硬度 |
22 |
Bending Strength(MPa) 弯曲强度 |
> 240 |
Compressive Strength(MPa)抗压强度 |
1600 |
Youngs Modulus(GPa)杨氏模量 |
340 |
Poissons Ratio泊松比 |
0.16 |
Thermal Conductivity(W/mK)热导 |
190 |
Thermal Expansion(x10-6/°C)热膨胀系数 |
25~400℃ : 3.8 |
Specific Heat([RT]J/kg.K)比热 |
0.7 |
Volume Resistivity(Ω. ㎝)电阻 |
10-1 |
Dielectric Constant(25°C 1MHz)介电常数 |
8 |
以上是碳化硅SiC的简单介绍,给大家参考了解。
敬请期待下一期——陶瓷配件_单晶硅 Si。
原文始发于微信公众号(SKC爱思开希):涨知识了丨半导体材料1_ 陶瓷配件_ 碳化硅 SiC
一颗芯片的制造工艺非常复杂,需经过几千道工序,加工的每个阶段都面临难点。欢迎加入艾邦半导体产业微信群:
长按识别二维码关注公众号,点击下方菜单栏左侧“微信群”,申请加入群聊