报告期间，晶盛机电在功率半导体领域，先后成功研发 8 英寸及 12 英寸常压硅外延生长设备并实现销售，以及具有国际先进水平的 8 英寸单片式和双片式碳化硅外延生长设备，在 6 英寸外延设备原有的温度高精度闭环控制、工艺气体精确分流控制等技术基础上，解决了腔体设计中的温场均匀性、流场均匀性等控制难题，双片式外延设备集成了多温场协同感应加热及流场分区控制等核心技术，具备单腔同时加工 2 片晶圆的能力，可以 在保证高外延生长品质的同时，极大提升设备的单位产能，有效降低碳化硅外延片生产成本。成功开发应用于碳化硅衬底片和外延片量检测的光学量测设备，实现碳化硅量检测设备的国产化。
8英寸单片式硅外延生长炉
01
会议议题
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02
拟邀企业
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高纯碳粉、硅粉、碳化硅粉末、坩埚、籽晶等材料企业； -
晶锭、衬底、外延、晶圆等产品企业； -
碳化硅晶体、外延生长等设备企业； -
金刚石线切割、砂浆线切割、激光切割等切割设备企业； -
碳化硅磨削、研磨、抛光和清洗及耗材等企业； -
检测、退火、减薄、沉积、离子注入等其他设备企业； -
高校、科研院所、行业机构等；
03
报名方式
04
收费标准
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05
赞助方案
原文始发于微信公众号（艾邦半导体网）：晶盛机电：2023年营收179.83亿元，8英寸SiC外延炉已实现量产
一颗芯片的制造工艺非常复杂，需经过几千道工序，加工的每个阶段都面临难点。欢迎加入艾邦半导体产业微信群：
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