据韩媒报道,半导体零部件公司LK ENGINEERING的销售额从 2021 年的333 亿韩元增加到去年的 717 亿韩元,这得益于主要产品静电吸盘(ESC)出口的大幅增长。静电吸盘是半导体制造设备中利用静电来固定晶圆的部件。LK ENGINEERING静电吸盘去年出口额达486亿韩元,占销售额的67.8%,中国大陆占比最高,为72%,日本占比12%、美国占比11%、德国占比3%、新加坡和台湾占比2%。LK ENGINEERING 2024年第一季度销售额突破230亿韩元,今年将开始向台湾半导体公司销售产品,因此销售额有望将超过1000亿韩元,其目标是到2030年实现年销售额2000亿韩元。

韩国LK ENGINEERING静电卡盘修复业务大幅增长

ESC的核心技术是陶瓷,也就是与晶圆接触的部分。烧结成高纯度盘形陶瓷并按照半导体制造商所需的规格进行定制设计的技术并不容易,因此进入门槛很高。由于固定晶圆的部件的性质,在制造过程中提高产量并不容易,而且很容易磨损。
高纯度ESC、带温度调节功能的加热ESC等高附加值产品的售价为1~3亿韩元(约52~156万人民币)。进行修复只需要3000~5000万韩元左右(15.5~26.5万人民币)。
LK ENGINEERING的业务不仅包括维修和更换自有产品的陶瓷部件,还包括全球制造商 ESC 的陶瓷部件,是韩国第一家开展 ESC 维修业务的公司,并成为了SK海力士和三星的供应商。LK ENGINEERING高附加值产品约占销售额的40%,将进一步将其开发成高纯度ESC,使其导热性等与半导体公司所需的材料相匹配。若韩国乌山正在建设的工厂竣工,从明年开始每月陶瓷产量将从800件增加到2400件。

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作者 gan, lanjie