广东华特气体股份有限公司宣布向不特定对象发行可转换公司债券拟募集资金总额不超过6.46亿元(含本数),扣除发行费用后募集资金净额将用于投入年产1764吨半导体材料建设项目、研发中心建设项目以及补充流动资金。
随着国家近年来对新材料的重视以及国内半导体行业的快速发展,电子特 种气体等半导体材料在国内半导体行业的地位日渐增长,华特气体将通过江西华特在现有空余场地上扩建生产基地,扩大现有特种气体生产规模,项目总投资4.66亿元,拟使用募集资金金额3.83亿元,建成后将生产高纯一氧化碳、高纯一氧化氮、六氟丙烷及异构体、溴化氢、三氯化硼、超高纯氢气、超纯氪气、超纯氖气、超纯氦气和超纯氙气共1764吨。
电子特种气体作为关键的半导体材料之一,被广泛用于半导体制造过程中清洗、刻蚀、成膜、掺杂等工艺环节,被誉为半导体产业的"血液"。 此次募投项目的高纯一氧化碳、高 纯一氧化氮、溴化氢、三氯化硼、超高纯氢气等产品广泛应用于半导体生产的蚀刻、掺杂、沉积等工艺。
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