近日,随着最后一根钢梁吊装就位,拓荆科技(上海)半导体先进工艺装备研发与产业化项目”主体钢结构全面完工,喜封金顶。

【资讯】拓荆科技半导体先进工艺装备研发与产业化项目结构封顶

拓荆科技(上海)有限公司(以下简称“拓荆科技”)成立于2020年12月,是拓荆科技股份有限公司在临港设立的全资子公司。拓荆科技主要从事高端集成电路薄膜装备的研发、生产与销售,聚焦半导体薄膜沉积设备,是国内专用量产型PECVD、ALD、SACVD、HDPCVD设备领军企业。经过十余年的耕耘,拓荆科技形成了多项核心技术,设备产品达到国际同类产品先进水平,并在集成电路领域实现了产业化应用,为促进我国集成电路产业的快速发展作出贡献。
本项目建筑面积约10万㎡,用于开发先进的ALD薄膜工艺技术及高产能设备平台,并实现以临港为中心客户群所需半导体设备的产业化。拓荆上海将以市场需求为导向,开展自主研发,突破核心技术,形成100%自主知识产权产品并实施产业化,为新片区集成电路产业发展贡献力量!
 

来   源:上海地产闵虹集团

 

原文始发于微信公众号(上海临港):【资讯】拓荆科技半导体先进工艺装备研发与产业化项目结构封顶

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作者 gan, lanjie