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6月12日,华海清科股份有限公司(简称“华海清科”,股票代码688120)首台12英寸封装减薄贴膜一体机Versatile–GM300出机发往国内头部封测企业,此产品是华海清科继在先进封装领域推出量产机型减薄抛光一体机(Versatile–GP300)之后,面向封装领域推出的又一关键核心产品,为公司业务多元化增长注入新动能。
封装减薄贴膜一体化设备Versatile–GM300,全机采用新型布局,可灵活实现薄型晶圆背面超精密研削与干式抛光应力去除功能,搭配晶圆贴膜机联机使用,可为8/12英寸晶圆安全可靠地提供从精密减薄、清洗干燥到粘贴料环、背膜剥离的全流程自动作业,满足高端封装领域的薄型晶圆生产工艺技术需求。
Versatile–GM300超精密晶圆减薄机,在技术上突破了超薄片减薄工艺技术壁垒,依托先进的厚度均匀性控制技术,可实现片内均匀性TTV<1.0μm,达到了国内领先和国际先进水平。此外,该产品具有高精度、高刚性、工艺开发高灵活性等优点,可广泛应用于封装领域中的晶圆背面减薄、BG/DC倒膜等工艺。本次12英寸封装减薄贴膜一体机出机,将有助于进一步巩固和提升公司的核心竞争力。
华海清科股份有限公司
奋楫者先,创新者强。公司发展至今,始终秉持“自强成就卓越,创新塑造未来”的企业精神踔厉奋发、笃行不怠,研发团队坚持将“客户导向、创新驱动、质量超越”的核心价值观融入于产品的研发中。得益于广大客户及合作伙伴们的支持与信任,公司近年来持续增收增盈,产品不断迭代升级,凭借过硬的科研实力,迅速发展成为国内半导体装备行业的中坚力量。未来,华海清科将始终坚持“装备+服务”的平台化战略布局,继续加大研发和生产投入,打造更具国际竞争力的技术及产品,为客户和市场提供更高效、更先进的产品及服务,以科技创新积极发展新质生产力,助力行业高质量发展。
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原文始发于微信公众号(华海清科):华海清科首台12英寸封装减薄贴膜一体机Versatile–GM300出机
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