近日,苏创投·国发创投旗下的苏创同运基金正式投资苏州万贵源精

    近日,苏创投·国发创投已投项目——芯达半导体设备(苏州)有限公司(以下简称“芯达半导体”)与吉林求是光谱数据科技有限公司合作签约,双方就供应链关系达成合作之后,国产前道涂胶显影设备将首次进入OCF国际供应链,标志着可视化芯片彩色光刻胶涂胶工艺设备国产化实现“零突破”,进一步加速推进半导体关键核心装备国产化,助推苏州集成电路产业高质量发展。

投资动态 | 芯达半导体与求是光谱签约,国产涂胶显影设备实现“零突破”

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苏州工业园区党工委委员、管委会副主任倪乾,园区科技创新委员会党组书记、主任潘瑜,金鸡湖商务区党工委委员、管委会副主任邵静,科技创新委员会副主任杨小波,苏州国发创投副总裁蔡万旭等出席了签约仪式。
     
     芯达半导体是国内领先的半导体设备制造商,2021年落户苏州,致力于半导体前道制程—涂胶显影设备的研发和制造,主要产品为半导体光刻工艺用涂胶显影机(track)。
投资动态 | 芯达半导体与求是光谱签约,国产涂胶显影设备实现“零突破”

   芯达半导体核心研发团队拥有20年以上专业经验,建有3500平米的研发及生产场地。公司以Semi标准调度平台软件和控制系统技术来实现高端涂胶显影机架构和部件模块的调度控制,通过高精度、高产能光刻产品的架构平台技术来实现叠层模块架构设备的生产和环境控制。目前产品从涂胶显影机整体架构到单元零部件已完全实现国产化,可替代国外28nm以上光刻工艺进口产品,并能提供从整机到工艺解决方案的一系列服务。

    公司计划未来三年内完成14—28nm设备研发、生产、测试和销售,夯实前道高端FAB的涂胶显影机的技术和市场布局,预计五年内的总研发投入将超亿元。

原文始发于微信公众号(国发创投):投资动态 | 芯达半导体与求是光谱签约,国产涂胶显影设备实现“零突破”

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作者 gan, lanjie