国内首片光罩保护膜在杭绍临空示范区诞生

绍兴芯链半导体科技有限公司位于杭绍临空经济一体化发展示范区绍兴片区内，主要从事光罩材料产业链产品的研发、生产和销售。令人振奋的是，该项目于2023年5月29日土地摘牌，1个月开工建设，10个月完成结顶，12个月试运行，成为“柯桥速度”的又一样板。

记者了解到，一直以来，光罩保护膜都是国家“卡脖子”技术难题：配方方面，国内尚无厂商生产，完全依赖进口；工艺方面，旋涂、烘干等技术复杂，厚度、透光率等要求严苛。而绍兴芯链半导体公司致力于整合光罩材料全产业链，是当今全国唯一、世界唯二的能生产光罩保护膜、 BIM及PSM光罩基板的厂家。

“发布会不仅是光罩保护膜的一次全面展示，更是芯链创新精神和科技实力的集中体现。从研发到试生产，再到产品的最终呈现，每个环节都凝聚了芯链每位同仁无尽的心血。”公司总经理李佳珍看到团队的努力终于“结果”也感慨万千。她说，未来公司也将继续跟随国家半导体行业发展战略，围绕高端半导体材料提供更高质量的产品，持续加大研发投入，逐步实现先进光罩上游材料的量产，成为国内领先、国际一流的半导体材料标杆企业。

 “高榕资本”、“红杉中国”等是项目的投资方，从早期就开始孵化和陪伴团队的研发过程。“高榕资本”相关负责人袁烽表示“该项目不仅打破我国对该领域关键材料的进口依赖，有效填补国内产品空白，也将进一步提升中国光罩保护膜技术能力，实现半导体产业延链补链强链。因此我们对它的投资，无论从商业还是战略性价值都极具影响意义。”

作为芯链项目的“娘家人”，今年来，临空始终秉持“项目为王”理念，在奋力打造新质生产力重要增长极新征程上，图强争先、领跑竞跑。项目引进后，临空示范区管委会迅速组建项目落地专班，借助项目落地扁平化工作机制，常态化开展项目建设服务，推动项目快开工、快建设、快投产。此外，不断夯实要素保障，以海峡两岸(绍兴)数字产业临空经济园建设为契机，全面统筹“路、电、水、管、气”等要素，推动优质资源向重点片区、重点企业倾斜。针对芯链半导体产业链项目道路进出、电力管线铺设诉求，提速修建能源路、发展路“一横一纵”企业关键进出通道，提前3个月实现通车。这才有了芯链的工厂建设和产品研发同时进行，项目开工后1个月便下线样片的惊人速度。

目前，在临空示范区管委会的服务帮助下，芯链半导体产业链项目已成功入选全省第二批重大产业项目公示名单。此次首先发布KrF光罩保护膜后，很快将继续完成其他规格的ArF光罩保护膜、I-line/G-line保护膜产品，为中国半导体材料产业贡献更完整的产品矩阵。