辽宁省集成电路装备及零部件产业园即北方芯谷，位于沈阳市浑南区，总占地面积5.1平方公里，包括建成区五三片区和新建区张沙布片区，规划建设集整机装备、零部件、系统集成等于一体的产业集聚区。
天科合达是国内最早从事第三代半导体碳化硅晶片研制的国家级高新技术企业之一。这次摘牌的地块位于北方芯谷新建区，计划建设第三代半导体碳化硅单晶生长炉、高温CVD真空炉等装备研发制造生产基地和半导体设备高温零部件碳化物涂层等终端产品生产基地。项目预计明年初开工建设，年底前投入使用。
原文始发于微信公众号（沈阳高新区）：第三代半导体领军！北方芯谷新建区建设在沈全面启动——