奥野制药工业株式会社将导入Lam Research公司生产的Kallisto CM ECD 750用于开发玻璃核心基板、玻璃载办上重新配线以及下一代封装基板用药水和工艺。
本装置预计在2025年11月左右导入。

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作者 gan, lanjie