甬江实验室微纳平台研发线正式投用！

微纳平台是甬江实验室在电子信息材料与器件领域布局建设的重要公共科研支撑服务平台，也是甬江实验室迄今为止投入最大的平台。平台聚焦“芯片异构集成”与“微纳光学”两大方向，围绕高速通讯、元宇宙、自动驾驶和智能机器人等未来产业所需的核心半导体制造技术，提供从光电芯片材料生长、器件制备、模组开发到检测验证全流程前沿工艺技术开发，以及先进的验证手段和系统的解决方案，致力于成为支撑前沿科技创新、引领微纳制造共性技术、赋能产研生态的开放、共享型科创服务平台。

微纳平台现已聚集48位高水平科研和管理人员，拥有一流的基础设施、先进的制程工艺，已建成6英寸研发线和8英寸验证线各一条，配备了165台（套）高端精密设备，为集成电路领域产业提供高效先进的检验验证和系统解决方案。此次投用的正是6英寸研发线，8英寸验证线有望在2025年上半年投用。

崔平对各位专家学者和领导的参会表示热烈欢迎。她指出，新一代半导体作为半导体产业的重要组成部分，对国民经济等相关领域具有重要战略意义，也是当前世界各国科技竞争的焦点之一。新一代半导体技术的发展既关乎产业升级，更关乎国家发展。但多年来我国在半导体和光电器件领域具有真正意义的公共研发和验证平台并不多，使得我国在该领域的创新门槛和成本很高。

为此，甬江实验室经过3年多国内外的调研、论证、场地建设、设备选型、采购、安装调试，在国内外知名同类平台、友商以及政府有关部门的支持和帮助下，微纳平台研发线正式投用，这标志着甬江实验室在推进科技创新服务体系建设方面又迈出了新的一步。未来，甬江实验室微纳平台将始终秉持开放共享的原则，恪守"中立"精神，持续完善平台功能，提升服务能力，为高校院所和企业提供强有力的关键基础设施、先进工艺开发与验证环境，加速科研成果转化为现实生产力，打通创新链、产业链上下游合作通道，形成良性互动的创新生态。

运行仪式上，微纳平台负责人钟飞对平台进行了介绍，并在现场与合作企业代表举行了签约仪式，与来自宁波、杭州、苏州、北京等地的企业签署合作协议。

仪式同期还举办了异质异构集成前沿论坛，来自学术界、产业界的知名专家学者作主旨报告，并与参会代表一同探讨异质异构集成前沿技术和发展机遇。

此外，本次论坛还特设了一场圆桌论坛，甬江实验室副主任乌学东作为主持人，与中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所研究员张宝顺、宁波元芯光电子科技有限公司董事长国伟华、拓荆键科（海宁）半导体设备有限公司副总裁郭万里、甬江实验室微纳平台研究员张瓦利等4位嘉宾，从产业界、供应商、学界等多元角度，共同探讨异质异构集成的应用与挑战。

正如每一棵参天大树都成长于深厚的根基，每一项前沿科技成果的产出也都离不开坚实底座的支撑。甬江实验室微纳平台正如一片科创沃土，承载着宁波推进前沿科技创新、培育未来产业和发展新质生产力的决心。未来，在甬江实验室这片科创沃土上，必将培育出一批原创性、前瞻性、引领性的重大科技成果。