优化碳化硅AR波导刻蚀量产工艺，广纳四维宣布完成新一轮数千万元融资

近期，广纳四维宣布已完成新一轮数千万元融资，本轮融资由丹麓资本、琥珀资本与广纳基金联合投资。此前，其分别获得中科创星、国科创投各数千万元的Pre-A轮、Pre A+轮融资。

本轮融资资金将重点投向科研团队扩建及碳化硅波导刻蚀量产工艺的优化，加速实现AR光学模组的消费级量产。

广纳四维CFO魏锡科表示，AR眼镜未来将会是AI的最好的载体，衍射波导是未来to C端AR眼镜的最佳方案，刻蚀工艺是衍射光波导的终极工艺路线。公司通过量产技术的打通及材料工艺的突破，实现了纳米压印衍射光波导单品出货量行业领先，具备高透、极致轻薄的优质显示效果。同时广纳四维作为国内很早探索AR波导刻蚀工艺研发的企业，在碳化硅及其他多种材料的刻蚀量产工艺上，积累了深厚的技术储备，为未来刻蚀工艺的单片全彩波导片的量产打下了坚实的基础。

碳化硅刻蚀产品C39G

广纳四维2022年率先突破AR波导刻蚀工艺制备技术，次年即实现110°超宽视场角突破。2024年完成碳化硅DUV光刻与刻蚀工艺攻关，产品实现了单片全彩显示，厚度仅0.7mm，重量仅为4g，完全消除了彩虹纹效应。据业内人士分析，碳化硅材料2.6以上的折射率可支持更优AR光学显示性能，这对实现普通眼镜形态的AR设备具有决定性意义。

目前，广纳四维纳米压印AR波导已实现规模量产及出货，同时建设了8寸AR波导刻蚀中试线，量产刻蚀工艺的成熟将推动AR显示器件向“极致轻薄、全彩高清、显示传感集成”的终极形态迈进，满足未来AI最佳载体的发展需求。

来源：36氪广东

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