该项目位于珊瑚镇珊瑚八户村祥园路南侧、沿河路东侧地块,新增用地约15839㎡,建设标准厂房、办公楼及研发中心,总建筑面积35666.16㎡。新增SIC化学气相沉积、SIC国产化及尾气处理、数控加工等设备设施以及冷却板系列,腔体旋转机构、分选切割机、粒子喷射机清洗、烤箱、高速湿式研磨、腔体旋转机构超声波清洗机、激光打标机、预清洗、氧化炉、最终清洗等附属设备等。项目建成后,年可生产半导体蚀刻制程专用设备零部件6万件。
原文始发于微信公众号(泰兴市重大工业项目掌上督系统):珊瑚镇中导信力蚀刻制程专用设备零部件制造项目“多证齐发”
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