浙江大学研究人员首次使用高速激光直写在玻璃基板创建了间距仅为100纳米的线条。优化后的打印方法可以实现微透镜、光子晶体、微光学器件、超材料等的超分辨率3D直接激光写入（DLW）。
团队强调，这项DLW技术的一个重要应用是打印用于虚拟现实或增强现实显示器的光波导器件。
DLW主要使用对焦激光束来选择性地固化或聚合纳米级精度的材料。DLW通常利用多光子聚合以精确的3D方式聚合材料。
浙江大学的研究人员表示：“增加分辨率——两个相邻特征之间的最小距离——十分困难，因为强激光会在DLW期间在附近区域造成不必要的暴露。然而，通过使用独特的双光束光学装置和特殊的光刻胶，我们能够克服这一挑战，并实现超分辨率DLW。”
实验表明，他们能够在100 μ m/s的打印速度下可以实现破纪录的100 nm横向分辨率。当使用更快的1000 μm/s写入速度时，则可以实现120 nm的横向分辨率。
原文始发于微信公众号（激光行业观察）：突破瓶颈！浙江大学实现纳米级超分辨率激光直写技术