低温共烧陶瓷（LTCC）技术是近年来发展起来的令人瞩目的整合组件技术，代表了电子元器件小型化、高频化、集成化的发展方向，目前已成为无源集成的主流实现方案。
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陶瓷+Bi2O3-B2O3-SiO2+助熔剂可加入的陶瓷有：Al2O3、TiO2、CaO等，助熔剂为：Li2CO3、CaF2、LiF，烧结温度小于700℃，烧结收缩率在0～20%可控。εr=5～20，tanδ＜0.002GHz，可应用于高频电路、可集成化陶瓷基板和微电子封装材料等领域。 -
ZnO-TiO2+ZnO-B2O3-SiO2微波介质陶瓷材料。锌硼硅玻璃为助熔剂，体系烧结温度小于900℃，可与银电极共烧。负τf的锌硼硅玻璃与正τf的TiO2结合，可调整τf到接近零。材料的τf=0±10ppm/℃，εr=24～35.3，Q·f达13000GHz。（3）SiO2-B2O3-Al2O3+碱土金属氧化物+陶瓷 -
碱土金属氧化物以SrO为主，陶瓷为Al2O3、TiO2、堇青石、莫来石中的2～3种，体系烧结温度在850～950℃。εr＞10(1.9GHz)，TEC为5.9～6.4×10-6/℃(50～300℃)。作为多层配线板基板材料时，调节堇青石或莫来石的含量，可以将基板材料中的层间线性热膨胀系数差控制为不大于0.25×10-6/℃。
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CaO-B2O3-SiO2-ZnO-P2O5+稀土氧化物稀土：Y、La、Sm、Gd等，采用溶胶-凝胶法，烧结温度750～950℃。所制备的微晶玻璃陶瓷材料具有优良的化学均匀性和材料纯度均匀性，以及良好的性能重复性。 -
（2）CaO-SiO2-B2O3+SiO2-B2O3-Na2O-K2O-Li2O用该材料制备的127μm的LTCC生带表面平整、光滑，可在850℃左右烧结。εr=5～7，tanδ＜0.02GHz。 -
（3）CaO-B2O3-SiO2-ZnO-P2O5B2O3可以降低玻璃的高温黏度，降低烧结温度；ZnO-P2O5的添加降低了烧结温度，促进晶体形核生长。该体系烧结温度为750～850℃。εr=4.9～5.5，tanδ=0.001～0.0025MHz。
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Li2O-Nb2O5-TiO2+低熔点氧化物低熔点氧化物：B2O3、B2O3-ZnO、B2O3-CuO、Li2O-V2O5，该体系原烧结温度1100℃，添加少量低熔点氧化物后烧结温度下降到900℃。εr=32～52，Q·f和τf较小。 -
Bi3x-yLayZn2-2x-mAmNb2-x-nBnO7微波介质陶瓷，材料的晶体结构和相组成简单。A=K1+、Li1+、Ba2+等，B=Mn4+、Ti4+、Ta5+等，烧结温度900～1000℃。εr=80～150，tanδ＜0.0003，绝缘电阻ρV≥1012Ω·cm，抗电强度Eb≥10kV/mm。 -
(Bi3xM2-3x)(ZnxNb2-x)O7M=Zn、Ca、Cd、Sr，烧结温度900～1020℃。为低损高介的微波介质陶瓷，εr=70～150，tanδ＜0.0006，绝缘电阻ρV≥1013Ω·cm，Q·f=1000～6000GHz，τf=-50～-80，介电常数温度系数覆盖范围宽，为-300～+60ppm/℃，且在-55～125℃的范围内可以根据材料组成调节。 -
BaCO3-ZnO-TiO2+助烧剂微波介质陶瓷，助烧剂为Li2O-ZnO-B2O3玻璃或者BaCu(B2O5)。通过传统的固相反应合成，材料烧结温度在900℃以下。具有较好的微波介电性能：εr=25～35，Q·f＞12000,τf=-10～+30ppm/℃；材料工艺稳定,重复性好；能与银电极得到较好的共烧匹配。
活动推荐：
2021年6月5日（周六）
深圳 观澜 格兰云天酒店
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No. |
议题 |
邀请企业 |
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MLCC未来发展趋势 |
宇阳科技 陈永学 战略总监 |
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2 |
应用于电子陶瓷领域的毕克产品介绍 |
毕克化学 王玉立 博士 |
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3 |
高性能介质材料与元器件 |
天津大学微电子学院 李玲霞 教授/博士生导师 |
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4 |
MLCC用内/外电极材料成分改善研究 |
江苏博迁新材料 江益龙 总经理 |
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5 |
叠层机在高端电子陶瓷上的研发突破 |
宏华电子 梁国衡 副总工程师 |
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6 |
LTCC高频低介电常数陶瓷生料带 |
上海晶材新材料 汪九山 总经理 |
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7 |
浅谈我国无源元器件的机遇与挑战 |
风华高科 黄昆 LTCC事业部经理/技术总监 |
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8 |
MLCC制作过程中失效原因分析 |
深圳纳科科技 段建林 总经理 |
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9 |
多层陶瓷电容器瓷料掺杂改性研究 |
上海硅酸盐研究所 陈学锋 研究员/博士 |
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10 |
封接玻璃作用机理及在电子元器件应用研究进展 |
华东理工大学 曾惠丹 教授/博导 |
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11 |
稀土在先进电子陶瓷电容材料中的研究进展 |
深圳晶世新材料 程佳吉 教授 |
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12 |
通讯行业MLCC应用情况及要求 |
中兴 杨航 高级工程师 |
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13 |
LTCC材料及工艺研究 |
电子科技大学 李元勋 教授 |
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LTCC技术工艺集成优化方案 |
214所 何中伟 总工艺师 |
赞助企业：
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宇阳科技 |
毕克化学 |
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天津大学 |
广东国元行化工科技有限公司 |
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合肥费舍罗热工装备有限公司 |
上海住荣科技有限公司 |
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无锡晨颖机械科技有限公司 |
韩国赛诺-上海矽诺国际贸易有限公司 |
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东莞市腾科视觉自动化设备有限公司 |
东莞市隆吉仪器有限公司 |
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成都天大仪器股份有限公司 |
东莞市磨匠设备有限公司 |
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宜兴市山佳电子科技有限公司 |
广东首镭激光科技有限公司 |
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喜而诺盛自动化科技（苏州）有限公司 |
舟山市金秋机械有限公司 |
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江苏一六仪器有限公司 |
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原文始发于微信公众号（艾邦陶瓷展）：低温共烧陶瓷（LTCC）技术材料体系简介