园区MEMS产业实现新飞跃，园芯微首批晶圆正式下线！

12月8日，苏州园芯微电子技术有限公司举行Fablite首批晶圆下线仪式暨首片晶圆揭幕活动。首批晶圆的成功下线标志着园芯微电子发展迈上新台阶，规模化后将极大提升园区MEMS产业支撑能力。

苏州工业园区党工委委员、管委会副主任倪乾，苏州工业园区科创委主任潘瑜，苏州工业园区科协主席、科创委副主任、科招中心主任肖诗滔，苏州工业园区科招中心副主任蒋智慧，苏州纳米科技发展有限公司党委书记、董事长、总裁张淑梅，副总裁李寿祥等出席活动。

园芯微电子于2021年4月在苏州纳米城注册成立，是一家致力于MEMS新工艺的研发创新，构建MEMS传感器核心工艺制造产线，实现MEMS传感器芯片 “Fablite”运营模式的企业。公司由敏芯股份与园丰资本、中新创投、纳米公司、苏州顺融投资管理有限公司共同投资设立，以“政府主导、企业参与、专业团队管理、市场化运营”的原则，开展MEMS特色工艺研究项目建设，促进园区MEMS产业高端化发展。

围绕MEMS产业发展，苏州工业园区抢抓机遇、前瞻部署，以苏州纳米城为主阵地，通过在技术、平台、机制等方面的一系列创新举措全面深化MEMS产业布局，打造先发优势，率先建设了纳米加工平台、MEMS中试平台、测试分析平台、微系统平台封装等产业链关键支撑平台；成立全国首个MEMS产业知识产权联盟，启动全国首个“MEMS产业专利池”，促进MEMS产业跨界创新、全链融通；培育了敏芯、纳芯微、明皜传感等一批领军企业和高成长性企业，在声学传感器、压力传感器、气体传感器等众多领域实现领跑，现已形成显著的集群效应，连年位列国内智能传感器产业园区第一名。