2022年12月22日,首届“创新浙商”名单揭晓。他们中,有砥砺前行开拓进取的“创业先锋”;有匠心打造行业龙头的“创新中坚”;有薪火传承创新筑梦的“后起之秀”;有留学回国振兴实业的“归航精锐”。创新浙江公众号陆续推出10位创新浙商人物专访,分享他们的精彩故事。

 

致敬“创新浙商”⑩|曹建伟:“晶”益求精 打造半导体材料高端装备强企

人物简介

曹建伟,男,1978年出生,中共党员,浙江大学机械电子工程专业博士,高级工程师,国家高层次人才特殊支持计划科技创新领军人才。浙江晶盛机电股份有限公司党委书记、董事长。

曹建伟主导了10余项国家级、省部级项目,2项国家集成电路科技重大02专项课题,获得专利300余项,其中发明专利近50项。荣获浙江省科学技术奖一等奖2项,二等奖2项,三等奖1项,入选151人才工程第二层次人才、杭州市高层次人才、浙江省优秀科技工作者,“第十五届中国上市公司十大创业领袖人物”“第二十届浙江省优秀企业家” “2021年度风云浙商”等荣誉称号。

从初创时20余名员工、租赁厂房与设备起家,到2022年三季度末总资产达到256亿元,市值破1000亿元;从山村小公司起步,到如今超越国内同行,与国际领先技术接轨的高端设备供应商与服务商;浙江晶盛机电股份有限公司5年实现上市,16年持续稳健增长,保持细分行业技术与高端市场双领先地位。“一路走来,我们始终坚定‘打造半导体材料装备领先企业,发展绿色智能高科技制造产业’初心,不断实施技术创新,让企业一直保持着旺盛的生命力。”曹建伟带领团队把“求是创新,艰苦奋斗”融入晶盛机电发展基因,带领晶盛爬坡闯关,谱写了高端装备国产化的绚丽篇章。

 

立足高起点 

打破国外长期技术垄断

位于绍兴市上虞区汤浦镇的一幢白色三层小厂房,是晶盛机电的起点,亦是曹建伟从浙大博士毕业之后开启的又一个人生奋斗的新起点。2006年,曹建伟与创业团队近10人的课题组(后来成为晶盛机电的核心团队)租下了厂房与设备,除去购置计算机与刀量具,手中仅留十余万元。尽管如此,他们的目标却不低:打破国外垄断,实现全自动控制单晶硅生长炉的国产化。
单晶硅材料被广泛应用于半导体领域,作为一种重要基础材料,在现代电子信息技术中的占比高达95%。直拉式单晶硅生长炉是硅单晶制备领域重要而高效的设备。曹建伟带领团队在调研国内外技术的基础上,结合半导体硅单晶生长工艺,以研发单晶炉全自动控制系统为突破口,进行单晶炉整机研制。在有研硅股等国内半导体企业的大力支持下,创新攻关,终于在2007年4月,这间山村小工厂诞生了国内首台自主研制的全自动80A型单晶硅生长炉,一举打破了高端单晶炉技术长期被国外垄断的产业格局,填补了国内空白。

致敬“创新浙商”⑩|曹建伟:“晶”益求精 打造半导体材料高端装备强企

持续创新
勇为业界技术领跑者
“科研是我们的强项,也是我们唯一的出路。”曹建伟——这位浙大机械电子工程专业出身的博士,始终坚持亲手抓研发。他带领团队一直秉承着1至2年研发新一代设备的频率,始终牢牢掌握着核心竞争力,在行业内创造了令人瞩目的“晶盛速度”。
在首台80A型全自动单晶炉实现多项首创技术之后,曹建伟与团队又接连成功研制国内首台130A大型单晶炉和100B重掺型半导体级单晶炉。其生长的硅单晶棒领先于国内同行,达到国际同类产品的先进水平。
“技术领先,规模投产。”这是曹建伟对研发的一贯要求。他带领团队经过对“大尺寸半导体级硅单晶生长设备的关键技术”的攻关,研发出了超导磁场匹配技术、CCD视频技术等多项创新技术,实现了智能化全自动单晶硅生长技术的重大突破,第四代单晶炉技术国际领先。
2009年和2011年,曹建伟团队承接了两项国家科技重大专项半导体装备课题,“300mm单晶硅直拉生长设备的开发”和“8英寸区熔单晶硅炉国产设备研制”课题先后落户公司,团队毅然挑起重任,不仅顺利通过专家组验收,还相继研发成功油冷却CUSP磁场、水冷夹套技术,高精密单晶双夹持装置、连续引晶技术等多项国内外首创技术。
如今科技创新已经在晶盛机电结出累累硕果,形成了以全自动单晶硅生长炉、区熔硅单晶炉、多晶硅铸锭炉、蓝宝石炉、碳化硅炉、金刚石炉为主体,半导体设备、光伏设备、半导体化合物衬底材料全面开花的格局。

致敬“创新浙商”⑩|曹建伟:“晶”益求精 打造半导体材料高端装备强企

科研为先

广纳人才培育“最强大脑”

曹建伟常说,创新团队是引领企业稳健发展的原动力,年轻人才是公司的未来。

他以身作则,带领团队践行核心价值观,锻造了一支“扛得起,挺得住,能吃苦,善打硬仗”的骨干队伍,形成了“胜则举杯相庆,败则拼死相救”“艰苦实干,团结奉献”的团队精神。公司还出台了专利申报、研发项目完成、技术革新及合理化建议等多项奖励制度,并采用关心、表扬、奖励、升职、出国研修等“五结合”的政策,鼓励员工技术和管理创新。公司对技术、业务骨干、中层管理等核心员工实施限制性股票激励计划,持续改善厂区工作与生活环境,不断提升员工的归属感与凝聚力。

如今在晶盛研发人员就有1000余人,研发人员数量占比超22%,90%毕业重点高校。他们分布在4个国内外研发中心、工业4.0方向的省级重点研究院、省级晶体装备研究院、国家级博士后工作站等研究平台。近几年,公司研发经费占营业收入比例保持在5%至8%之间,2022年前三季度研发经费达到5.10亿元,同比增长106.64%。

“晶盛从科研起家,也必须靠科研发展壮大,这条路子不会变!”曹建伟坚定地说。截至2022年6月30日,晶盛机电及下属子公司共有有效专利560项,其中发明专利71项,荣获浙江省科学技术奖一等奖2项,全自动单晶硅生长炉被评为第三批国家制造业单项冠军产品,公司获得浙江省科技领军企业、浙江省创新企业百强、2021福布斯中国创新企业50强等荣誉。

致敬“创新浙商”⑩|曹建伟:“晶”益求精 打造半导体材料高端装备强企

突破技术瓶颈

引领半导体产业发展

2022年8月,晶盛机电首颗8英寸N型SiC晶体成功出炉,晶盛第三代半导体材料SiC研发迈入8英寸时代,这是晶盛在宽禁带半导体领域取得的又一标志性成果。

半导体产业链上游支撑产业为半导体材料和设备,集成电路行业是国民经济和社会发展的战略性、基础性、先导性产业。晶盛机电持续攻关,在光伏设备领域,实现产品技术、规模双领先;在硅材料半导体设备领域,半导体8-12英寸大硅片设备,公司产品在晶体生长、切片、抛光、外延等环节已实现8英寸设备全覆盖,12英寸长晶、切片、研磨、抛光等设备全部国产化,产品质量达到国际先进水平;在先进制程及功率器件半导体装备领域,解决“卡脖子”难题,实现进口替代;在蓝宝石、碳化硅材料领域,保持700公斤级蓝宝石全球纪录及8英寸碳化硅全国纪录。同时,公司在碳化硅晶体生长、切片、抛光环节规划建立测试线,以实现装备和工艺技术的领先,拓展在第三代半导体设备领域的市场布局。

晶盛机电以半导体高端装备为核心,实现产业链横向拓展、纵向延伸,掌握了晶体“生长、切片、抛光、CVD”四大半导体设备核心技术,推动半导体关键装备国产化,为我国集成电路用大直径硅片生产与制造的战略安全提供有力支撑,助推集成电路产业跨越式发展,为科技兴国、实业强国添砖加瓦。

来源:省科技宣传教育中心

撰稿:张巧琴

编辑:梁梓

致敬“创新浙商”⑩|曹建伟:“晶”益求精 打造半导体材料高端装备强企

原文始发于微信公众号(创新浙江):致敬“创新浙商”⑩|曹建伟:“晶”益求精 打造半导体材料高端装备强企

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