液空中国西部电子材料中心是液化空气全球第12个电子材料生产中心,也是液化空气在中国的第3个电子材料中心。中心坐落于四川眉山,一期投资1.25亿元,拥有高纯笑气、高纯三氟化硼、高纯磷烷混配气、惰性混配气等多条生产线及配套设施,并具备电子材料分析能力。
笑气
产品纯度高达99.9995%
笑气生产装置
高纯三氟化硼
全自动转充工艺
高纯三氟化硼(用于集成电路掺杂工艺)充装生产线设计年产能1吨,产品纯度可达99.99%。中心拥有液空在华首套三氟化硼转充系统,可提供全自动转充工艺,确保充装的安全、可靠及品质的稳定。
高纯磷烷混配气
安全、可靠、便捷的自动充装
*PPB: Part Per Billion, 十亿分之一
供应链中心
液空中国最大的电子气仓储中心
原文始发于微信公众号(液化空气中国):液空中国西部电子材料中心投产Electronics Materials Center China Meishan started
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