FC-BGA(Flip Chip-Ball Grid Array)基板是能够实现LSI芯片高速化与多功能化的高密度半导体封装基板。

FC-BGA的结构

 

2.FC-BGA基板的制造工序

  • 芯层工序

在芯层基板上开孔、镀铜,经蚀刻去除电路部分以外的铜。

  • 积层工序

将电路图案进行曝光、并通过镀铜处理直接形成电路。多次重复该工序进行堆叠(积层)。

  • 外层工序

涂布阻焊剂后,在安装LSI芯片(裸片)的部分形成焊接凸块。切割成单个元件后,检查外观及电气特性。

 

3.FC-BGA基板的用途

应用于PC和游戏机用微处理器和图形处理器、服务器、人工智能和网络设备用高端处理器,以及高品质车载SoC。

 

来源:凸版

先进封装设备类似前道晶圆制造设备,供应商受益先进封测产业增长。随着先进封装的发展,Bumping(凸块)、Flip(倒装) 、TSV 和 RDL(重布线)等新的连接形式所需要用到的设备也越先进。以长球凸点为例,主要的工艺流程为预清洗、UBM、淀积、光刻、焊料 电镀、去胶、刻蚀、清洗、检测等,因此所需要的设备包括清洗机、PVD 设备、光刻机、 刻蚀机、电镀设备、清洗机等,材料需要包括光刻胶、显影剂、刻蚀液、清洗液等。为促进行业发展,互通有无,欢迎芯片设计、晶圆制造、装备、材料等产业链上下游加入艾邦半导体先进封装产业链交流群。
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