晶盛机电：8英寸碳化硅衬底片已实现批量生产

集微网消息，近日，晶盛机电在接受机构调研时表示，目前公司积极推进项目进度与产能提升，目前8英寸碳化硅衬底片已实现批量生产，量产晶片的核心位错达到行业领先水平。

晶盛机电表示，自布局碳化硅衬底业务以来，公司通过自主开发的设备、热场和工艺技术，不断延伸产品系列。经过研发团队的技术攻关，公司于2020年建立6-8英寸碳化硅晶体生长及切磨抛产线，于2022年成功研发出8英寸N型碳化硅晶体。2023年11月，公司正式进入了碳化硅衬底片项目的量产阶段。目前公司碳化硅衬底片已通过多家下游企业验证，并实现批量销售。

同时，晶盛机电相继推出了6英寸双片式碳化硅外延设备、8英寸碳化硅外延设备。据晶盛机电披露，其中6英寸双片式碳化硅外延设备在外延产能、运营成本等方面已取得国际领先优势，与单片设备相比，双片设备单台产能增加70%，单片运营成本降幅可达30%以上，助力客户创造极大价值。8英寸碳化硅外延设备可兼容6、8寸碳化硅外延生产，解决了腔体设计中的温场均匀性、流场均匀性等控制难题，外延的厚度均匀性1.5%以内、掺杂均匀性4%以内，达到行业领先水平。

此外，在营收预期方面，晶盛机电称，2023年度公司继续强化装备领域核心竞争力，同时积极推动新材料业务快速发展，希望在管理层和全体员工共同努力下，能够实现全年整体营业收入同比增长60%以上。

来源：集微网

推荐活动：

更多相关议题征集中，演讲及赞助请联系张小姐：13418617872 （同微信）

• 高纯碳粉、硅粉、碳化硅粉末、坩埚、籽晶等材料企业；

• 晶锭、衬底、外延、晶圆等产品企业；

• 碳化硅晶体、外延生长等设备企业；

• 金刚石线切割、砂浆线切割、激光切割等切割设备企业；

• 碳化硅磨削、研磨、抛光和清洗及耗材等企业；

• 检测、退火、减薄、沉积、离子注入等其他设备企业；

• 高校、科研院所、行业机构等；

方式1：加微信

https://www.aibang360.com/m/100182?ref=172672

★费用包括会议门票、全套会议资料、午餐、茶歇等，但不包括住宿。

阅读原文，即可报名

原文始发于微信公众号（艾邦半导体网）：晶盛机电：8英寸碳化硅衬底片已实现批量生产