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模拟优化,减少研究成本,获得预期的温场情况
不断开发新结构、新技术,获得低缺陷单晶
公司开发的8寸SiC单晶生长技术可重复生长出4H晶型100%、直径大于200mm、厚度超过10mm的晶体。8寸加工线也同步建成,将配套8寸单晶生长。通过进一步优化工艺,预期公司的8寸SiC晶锭厚度将达到20mm以上。
原文始发于微信公众号(合肥世纪金芯半导体有限公司):世纪金芯|突破8英寸SiC关键技术
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