报告期间，晶盛机电在功率半导体领域，先后成功研发 8 英寸及 12 英寸常压硅外延生长设备并实现销售，以及具有国际先进水平的 8 英寸单片式和双片式碳化硅外延生长设备，在 6 英寸外延设备原有的温度高精度闭环控制、工艺气体精确分流控制等技术基础上，解决了腔体设计中的温场均匀性、流场均匀性等控制难题，双片式外延设备集成了多温场协同感应加热及流场分区控制等核心技术，具备单腔同时加工 2 片晶圆的能力，可以 在保证高外延生长品质的同时，极大提升设备的单位产能，有效降低碳化硅外延片生产成本。成功开发应用于碳化硅衬底片和外延片量检测的光学量测设备，实现碳化硅量检测设备的国产化。
8英寸单片式硅外延生长炉
01
会议议题
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
02
拟邀企业
-
高纯碳粉、硅粉、碳化硅粉末、坩埚、籽晶等材料企业； -
晶锭、衬底、外延、晶圆等产品企业； -
碳化硅晶体、外延生长等设备企业； -
金刚石线切割、砂浆线切割、激光切割等切割设备企业； -
碳化硅磨削、研磨、抛光和清洗及耗材等企业； -
检测、退火、减薄、沉积、离子注入等其他设备企业； -
高校、科研院所、行业机构等；
03
报名方式
04
收费标准
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
05
赞助方案
原文始发于微信公众号（艾邦半导体网）：晶盛机电：2023年营收179.83亿元，8英寸SiC外延炉已实现量产
一颗芯片的制造工艺非常复杂，需经过几千道工序，加工的每个阶段都面临难点。欢迎加入艾邦半导体产业微信群：
长按识别二维码关注公众号，点击下方菜单栏左侧“微信群”，申请加入群聊
应用终端 芯片设计 equipment wafer 检测设备 视觉 自动化 半导体 芯片 封装 芯片测试 material 设备配件 传动机构 清洗设备 化学品 Plastic 硅片 光掩膜版 磨抛耗材 夹治具 切割设备 激光设备 光罩盒 IC载板 载具 CMP抛光垫 光学元件 抛光液 模具 电子特气 蚀刻设备 光刻胶 靶材 塑料制品 耐酸碱 管道阀门 氟材料 光刻机 环氧塑封 特种塑料 涂层 耗材 晶体生长炉 热工装备 划片机 磨抛设备 化学机械抛光设备 离子注入设备 PVD 涂胶显影设备 等离子去胶设备 胶带 清洗剂 包装设备 包装 管路 抗静电剂 ceramics 元器件 碳碳制品 高校研究所 代理 贸易 其他 CVD 光源 胶水 载带 玻璃 有机硅 薄膜 密封圈
English 
Chinese