日新电机株式会社的子公司日新离子机械株式会社(Nissin Ion Equipment Co., Ltd.),将参与美国阿肯色大学的SiC功率器件研究与制造设施“MUSiC”所开展的SiC功率器件的共同研究计划。
SiC功率器件具有优越的特性,如高效性、耐压性和耐热性,广泛应用于太阳能发电、电动车(xEV)以及一般电子设备等多个领域。MUSiC是阿肯色大学基于其数十年SiC研究经验所设立的,具备SiC功率器件制造功能和设备的设施。该设施是美国首个开放访问的研究中心,旨在为开发创新的功率半导体新技术和集成电路提供平台。外部研究人员和企业可以在此进行试制和演示,设计新设备。同时,MUSiC还计划培养学生,培养下一代半导体行业的领导者,且已有多家美国顶级SiC功率器件制造商以及许多无晶圆厂的中小企业表示将参与或正在考虑参与该计划。
日新离子机械株式会社生产了唯一一款能够批量生产SiC功率半导体的高温离子注入设备“IMPHEAT-Ⅱ”。该公司将向MUSiC提供该设备,并在未来三年(自2025年开始)开展针对SiC功率器件制造的离子注入工艺配方的共同研究。通过这一合作,日新离子机械株式会社将积累关于先进器件所需离子注入技术的知识,并将其应用于下一代设备中,进一步提高功率半导体的性能,从而减少能耗,推动设备节能,以清洁且低成本的能源促进可持续社会的实现。
一颗芯片的制造工艺非常复杂,需经过几千道工序,加工的每个阶段都面临难点。欢迎加入艾邦半导体产业微信群:
长按识别二维码关注公众号,点击下方菜单栏左侧“微信群”,申请加入群聊
应用终端 芯片设计 equipment wafer 检测设备 视觉 自动化 半导体 芯片 封装 芯片测试 material 设备配件 传动机构 清洗设备 化学品 Plastic 硅片 光掩膜版 磨抛耗材 夹治具 切割设备 激光设备 光罩盒 IC载板 载具 CMP抛光垫 光学元件 抛光液 模具 电子特气 蚀刻设备 光刻胶 靶材 塑料制品 耐酸碱 管道阀门 氟材料 光刻机 环氧塑封 特种塑料 涂层 耗材 晶体生长炉 热工装备 划片机 磨抛设备 化学机械抛光设备 离子注入设备 PVD 涂胶显影设备 等离子去胶设备 胶带 清洗剂 包装设备 包装 管路 抗静电剂 ceramics 元器件 碳碳制品 高校研究所 代理 贸易 其他 CVD 光源 胶水 载带 玻璃 有机硅 薄膜 密封圈
应用终端 SIC IGBT模块 SIC模块 碳化硅衬底 IGBT芯片 分立器件 material 焊接材料 真空回流焊炉 烧结银 烧银炉 烧结炉 Ceramic substrate 铜底板 焊接设备 划片机 晶圆贴片机 灌胶机 贴片 表面处理 硅凝胶 环氧树脂 散热器 铝碳化硅 五金 键合机 键合丝 超声焊接机 陶瓷劈刀 激光设备 设备配件 PVD设备 ALD 电子浆料 CVD 导热材料 元器件 密封胶 X-Ray 配件 超声波扫描显微镜 塑胶外壳 玻璃 Plastic 线路板 equipment 散热材料 热敏电阻 点胶机 胶水 自动化设备 运动控制 封装设备 检测设备 认证检测 夹治具 清洗设备 测试设备 磨抛耗材 磨抛设备 代理 贸易 其他