东丽工程开发玻璃基板设备,实现 2.5/3D 封装

为了实现半导体的进步,半导体制造中后处理领域的技术创新正在不断进步。与在半导体晶圆上形成电路的前工序相比,后工序是指切割晶圆、封装晶圆、形成电极、成型为半导体器件的工序。人们已经开发出多种技术来制造高功能和高性能的半导体,但近年来备受关注的一项技术是“堆叠芯片的2.5/3D(2.5D/3D)技术”。
以往,半导体装置是通过将芯片安装在封装基板上并用树脂密封(封装)来完成的。这些被称为二维(2D)封装,通过排列多个不同类型的器件并将它们安装在中介层上来堆叠芯片,中介层是连接不同类型芯片的中继构件。尽管目前正在以 3D 实现为目标进行开发,但该技术尚未实现,使用 2.5D 和 2.xD 的技术开发正在首先进行。
实现2.5D/3D封装所需的用于制造中介层的制造设备也已开发出来。
去年年底,东丽工程公司 (TRENG) 开发了 TRENG-PLP 涂布机,这是一种用于先进封装的面板级涂布设备。
东丽工程开发玻璃基板设备,实现 2.5/3D 封装
面板级涂布装置“TRENG-PLP涂布机
该设备兼容2.5/3D封装大型中介层的生产。再布线层的材料使用狭缝喷嘴进行涂覆,整个过程通过真空和加热干燥进行。具有高镀膜性能、与多种化学溶液及大型基板相容等特点。在中介层材料玻璃基板上形成精细的再布线层,实现2.5/3D贴装。
该公司于去年12月11日开始接受该产品的订单,目标是在2025财年接收30亿日元的订单,在2030财年接收60亿日元的订单。
中介层传统上是用硅制造的,但将圆形 300 毫米晶圆切割成方形会产生死角,从而降低制造效率。此外,随着半导体性能的提高,封装尺寸也逐年增大。有人担心制造效率会进一步下降,并且需要更大的中介层。随着封装变得越来越大,中介层的翘曲已成为一个问题,使用比硅更坚固的方形玻璃基板的中介层正引起人们的关注。使用这种玻璃中介层的封装被称为“面板级封装(PLP)”,并且技术开发正在不断进步。

玻璃基板可以比晶圆更大,尺寸为 600 x 600 毫米。由于其方形形状,甚至可以有效地利用板的角落。挑战在于控制玻璃基板的翘曲,保持布线材料和光刻胶材料的厚度均匀,并形成高密度的电路。为了解决这些问题,该公司开发了可高精度控制液晶面板厚度的涂层技术,以及为液晶面板开发的处理大型玻璃基板的技术,实现了在顶部形成高密度再分布层。

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